{"id":218018,"date":"2026-07-21T01:50:59","date_gmt":"2026-07-20T22:51:01","guid":{"rendered":"https:\/\/cinemaxone.ru\/?p=218018"},"modified":"2026-07-21T01:50:59","modified_gmt":"2026-07-20T22:51:01","slug":"cfet-bystree-menshe-nadejnei","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/cinemaxone.ru\/?p=218018","title":{"rendered":"CFET: \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435, \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435, \u043d\u0430\u0434\u0451\u0436\u043d\u0435\u0439"},"content":{"rendered":"

\u041a\u0430\u043a \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e \u0432 \u0441\u0435\u0440\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435 2026 \u0433\u043e\u0434\u0430, \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0430\u044f \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u0430 \u043f\u043e\u0434 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0421\u044e\u044d\u043b\u044d\u044f \u041b\u044f\u043d\u0430 (Xuelei Liang) \u0438\u0437 \u0428\u043a\u043e\u043b\u044b \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u041f\u0435\u043a\u0438\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442\u0430 \u0432\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043b\u0430 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0443\u0440\u044b \u0446\u0435\u043b\u0438\u043a\u043e\u043c \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 CFET — \u0441 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a. \u041f\u043e \u0443\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0432\u044b\u0448\u043b\u0430 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439: \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u043d\u0430\u0434 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0439 \u0437\u043e\u043d\u044b \u0434\u044b\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 (n<\/em>-FET) \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 (p<\/em>-FET) \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0434\u0435\u043d\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b \u043f\u043e \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c. \u041f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0437 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u043e\u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b \u0437\u0430\u0432\u0438\u0434\u043d\u0443\u044e \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043d\u0443\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435 \u043f\u043e\u0434 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 1,0 \u0412 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f 164 — \u0441\u0430\u043c\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430-\u043b\u0438\u0431\u043e \u0437\u0430\u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 CFET. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043a\u043e\u043c\u0430\u043d\u0434\u0430 \u0421\u044e\u044d\u043b\u044d\u044f \u041b\u044f\u043d\u0430 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043b\u0430 \u043d\u0430 \u0441\u0432\u043e\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u0447\u0430\u0442\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b NOR, OR, NAND \u0438 AND, \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u0451\u0445\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0443 \u043e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 (4T-SRAM), \u0430 \u0432\u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043e\u043a \u043f\u044f\u0442\u0438\u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u0447\u0430\u0442\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440 \u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0434\u0438\u043e\u0434. \u041d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0432 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0434\u0438\u043e\u0434\u0430 \u0441 \u0432\u0445\u043e\u0434\u043e\u043c CFET-\u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u0430, \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u043b\u0438 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043b\u0438\u0442\u043d\u0443\u044e \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0443\u044e \u0441\u0435\u043d\u0441\u043e\u0440\u043d\u043e-\u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u0445\u0435\u043c\u0443 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a, \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0443\u044e \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u0441\u043b\u0430\u0431\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0438 \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d \u0432\u043e\u043b\u043d 1200–1900 \u043d\u043c. \u0421\u043b\u043e\u0432\u043e\u043c, \u0443 \u0442\u043e\u0432\u0430\u0440\u0438\u0449\u0435\u0439 \u0438\u0437 \u041f\u0435\u043a\u0438\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442\u0430 \u043f\u043e\u044f\u0432\u0438\u043b\u0441\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043d\u044b\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0435\u043b \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441\u0440\u0430\u0437\u0443 \u043f\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u043c \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c — \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u0443\u044e \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0438\u043a\u0443, \u043d\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0443\u044e \u043d\u0435\u043c\u0430\u043b\u043e \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u0434 \u0432\u043e\u0437\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u043c\u0430\u043b\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u0451\u043c\u043a\u0438\u0445 \u0418\u0418-\u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e. \u0422\u0435\u043c\u0430 CFET \u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430 \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u043b\u044f \u041a\u041d\u0420: \u0435\u0451 \u0434\u0435\u044f\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0438 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 — \u0432 IBM, \u0432 Intel, \u0432 Imec \u0438 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0435\u0449\u0451 \u0433\u0434\u0435. \u0412\u044b\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442, \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 — \u0437\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u044b\u043c\u0438 \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438?<\/p>\n

<\/center> \t\t\t\t\t <\/p>\n

\"CFET:<\/p>\n

⇡#\u0421\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u043d\u0435\u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u043e<\/h2>\n

\u041d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c (\u043c\u044b \u0443\u0436\u0435 \u043a\u0430\u0441\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u0432 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0435 \u043e\u0431 \u044d\u0432\u043e\u043b\u044e\u0446\u0438\u0438 \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432), \u0447\u0442\u043e \u0443 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e (\u041c\u041e\u041f) \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430, \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0438\u0440\u043f\u0438\u0447\u0438\u043a\u0430 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0438, \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b — \u0438\u0441\u0442\u043e\u043a, \u0441\u0442\u043e\u043a \u0438 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b — \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439, \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e, \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438. \u041f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0437\u0430 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0443 \u043f\u043e\u0434 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u043c, \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u044b \u043f\u0440\u044f\u043c\u044b\u0435<\/em> \u043f\u043e\u043b\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b, \u0438\u043b\u0438 n<\/em>-\u041c\u041e\u041f, \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0443 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a n<\/em>-\u0442\u0438\u043f\u0430, \u0430 \u0438\u0441\u0442\u043e\u043a \u0438 \u0441\u0442\u043e\u043a — \u0437\u043e\u043d\u044b p-<\/em>\u0442\u0438\u043f\u0430, \u0438 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0441\u043d\u044b\u0435,<\/em> \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u044b \u0440\u043e\u0432\u043d\u043e \u043d\u0430\u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u0442. \u0410\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0436\u0435 complementary FET (CFET), «\u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445» \u041c\u041e\u041f, \u043f\u043e\u0434\u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0432\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043a\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u043d\u0430\u0434 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0440\u044b \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 n<\/em>-\u041c\u041e\u041f\/p<\/em>-\u041c\u041e\u041f \u0441 \u0437\u0430\u043c\u043a\u043d\u0443\u0442\u044b\u043c\u0438 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438 (\u043e\u043d\u0438 \u0436\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435, \u043e\u043d\u0438 \u0436\u0435 «\u043e\u0431\u043d\u0438\u043c\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435» — gates-all-around, GAA), \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e \u043a\u0430\u043a \u0443 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f GAAFET.<\/p>\n

\u0414\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u043d\u044b \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u0441\u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 Imec \u043a\u0430\u043a \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043a \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044e \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u043c \u043a\u0440\u0430\u044e \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0449\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043a 2030 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0447\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0439 \u0441 \u043e\u0431\u0449\u0438\u043c \u0433\u0440\u0435\u0431\u043d\u0435\u043c \u043e\u043a\u0430\u0436\u0443\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0438\u0441\u0447\u0435\u0440\u043f\u0430\u043d\u044b. \u0418 \u0432\u043e\u0442 \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 — \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432 \u0440\u0430\u0439\u043e\u043d\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043d\u043e\u0440\u043c\u044b «\u04107», \u043c\u0430\u0440\u043a\u0435\u0442\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u044b\u0445 0,7 \u043d\u043c, — \u043f\u0440\u0438\u0434\u0451\u0442 \u043f\u043e\u0440\u0430 \u043e\u0441\u0432\u0430\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c CFET \u0432 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435: \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0432\u0438\u0437\u043d\u0430 \u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 (\u0438 \u0441\u0445\u0435\u043c \u043d\u0430 \u0438\u0445 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435) \u043f\u043e\u043c\u0435\u0440\u043a\u043d\u0443\u0442 \u0432 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043f\u044b\u0442\u043a\u0438 \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f GAAFET.<\/p>\n

\"CFET:<\/p>\n

\u041e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u043a\u0438 \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0441\u043a\u043e\u043b\u044c \u043d\u0435\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u0438 \u043d\u0435\u0434\u0451\u0448\u0435\u0432\u043e \u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u0432\u043e\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 CFET, \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u043f\u043e\u043d\u044f\u0442\u043d\u0435\u0435, \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043a\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u043a \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435 \u0434\u043e \u0441\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0440 \u043f\u0440\u043e\u0437\u044f\u0431\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0435\u043d\u0430\u0445. \u0412\u0435\u0434\u044c \u0441 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443 CFET \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 GAAFET \u0441\u043f\u043b\u043e\u0448\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430: \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u043c\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044c, \u0432\u044b\u0448\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c (\u0437\u0430 \u0441\u0447\u0451\u0442 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u044b \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439), \u0434\u0430 \u0432\u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043e\u043a \u043d\u0430\u043b\u0438\u0446\u043e \u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0441\u043b\u043e\u044f\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0448\u0438\u043d \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439. \u041d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0435\u0449\u0451 \u0432 \u044d\u043f\u043e\u0445\u0443 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 — \u043d\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445! — \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043d\u043e\u0440\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0449\u0438\u043a\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0442\u044c \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u043d\u044b\u0435 (\u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0438\u0435, \u0431\u0435\u0437 \u0433\u0440\u0435\u0431\u043d\u0435\u0439) \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u043a\u0430\u043a \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u0435\u0435, \u0434\u043b\u044f \u0447\u0435\u0433\u043e \u0432\u044b\u0432\u043e\u0434\u0438\u043b\u0438 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0448\u0438\u043d\u044b \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u044d\u0442\u0438\u043c\u0438 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c \u0432 \u0432\u044b\u0448\u0435\u043b\u0435\u0436\u0430\u0449\u0438\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438. \u0412 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u043d\u0430\u0434 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438, \u043d\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043f\u0435\u0440\u0435\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c — \u0438 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u044f\u0435\u043c\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 (\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438) \u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n

\u0414\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0442\u044c \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043e\u043a, \u0434\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0445 FinFET \u0438 GAAFET — \u043f\u044f\u0442\u044c-\u0448\u0435\u0441\u0442\u044c. \u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 CFET \u0441\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e \u0441\u0435\u0431\u0435 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u044b\u0442\u044f\u043d\u0443\u0442\u044b \u043f\u043e \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u0438, \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0432\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u044f\u0445 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u043e\u0434\u0438\u043d \u043d\u0430\u0434 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u043c \u0442\u0440\u0443\u0431\u0447\u0430\u0442\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u0435 \u043e\u0431\u0435\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0437\u0431\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0448\u0435\u043b\u0435\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 — \u0437\u0430 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0431\u0443\u043a\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e-\u0434\u0432\u0443\u0445. \u0418 \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u043d\u0443\u0448\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b \u043f\u043e \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0435, \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0445 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435 (\u043e\u0442 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f GAAFET) \u0432\u0435\u0434\u0451\u0442 — \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0441 \u0443\u0447\u0451\u0442\u043e\u043c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 CFET — \u043a \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u043e\u0431\u0449\u0435\u0439 \u0432\u044b\u0441\u043e\u0442\u044b \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b. \u0410 \u044d\u0442\u043e \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0435\u0451 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e: \u0447\u0435\u043c \u0442\u043e\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0439, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u044b, \u0442\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435 \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u043e\u0442 \u043d\u0435\u0433\u043e \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e — \u0430 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442, \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u044b \u0434\u043b\u044f \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432.<\/p>\n

\"CFET:<\/p>\n

\u0427\u0435\u043c \u0441 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u0442 \u0436\u0435 GAAFET, \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0448\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0438\u043a CFET, \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043a\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 FinFET? \u0412 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0443\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c \u0442\u0435\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0430\u0451\u0442 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e \u043d\u0430\u0440\u0430\u0441\u0442\u0438\u0442\u044c \u0441\u0438\u043b\u0443 \u0442\u043e\u043a\u0430 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438 (drive current), \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u0443 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b. \u0417\u0434\u0435\u0441\u044c \u0435\u0441\u0442\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u0430\u044f, \u043d\u043e \u043d\u0435\u043e\u0447\u0435\u0432\u0438\u0434\u043d\u0430\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c: \u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0430 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445<\/em> \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c \u043a\u0430\u0440\u0434\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043f\u0430\u0440\u0430\u0434\u0438\u0433\u043c\u044b \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439<\/em> \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438. \u0421\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u043d\u043e \u0437\u0430\u043a\u043e\u043d\u0443 \u0414\u0436\u043e\u0443\u043b\u044f − \u041b\u0435\u043d\u0446\u0430, \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0432\u044b\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0442\u043e\u043a\u0430 \u043f\u043e \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043a\u0443 \u0446\u0435\u043f\u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430 \u043f\u0440\u043e\u043f\u043e\u0440\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043a\u0432\u0430\u0434\u0440\u0430\u0442\u0443 \u0441\u0438\u043b\u044b \u0442\u043e\u043a\u0430. \u0418\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e \u044d\u0442\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0435 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447 — \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u044b\u0435:<\/em> \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u044b\u0433\u043e\u0434\u043d\u0435\u0435 \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u043f\u043e\u0440\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043d\u0438\u0437\u0438\u0442\u044c \u0441\u0438\u043b\u0443 \u0442\u043e\u043a\u0430, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c (\u0430 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0442\u0430 — \u043a\u0430\u043a \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 — \u0432\u0430\u0436\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447) \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d. \u0427\u0435\u043c \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044f \u0441\u0438\u043b\u0430 \u0442\u043e\u043a\u0430 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0444\u0438\u043a\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0442\u0435\u043c \u043d\u0438\u0436\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0438, \u0442\u0430\u043a \u0447\u0442\u043e, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0446\u0435\u043b\u044c\u044e \u0441\u043e\u043e\u0440\u0443\u0434\u0438\u0442\u044c \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044e, \u0434\u0435\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0443 \u043d\u0435\u043a\u0443\u0434\u0430.<\/p>\n

\u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439<\/em> \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0432\u0441\u0451 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0438\u043d\u0430\u0447\u0435: \u0435\u0451 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0449\u0438\u043a\u0430\u043c, \u043f\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u043c\u0443 \u0441\u0447\u0451\u0442\u0443, \u043d\u0435\u0442 \u0434\u0435\u043b\u0430 \u0434\u043e \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044c (\u0434\u043e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0451\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430, \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e: \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430 \u043d\u0430\u0447\u043d\u0443\u0442 \u043c\u0435\u043d\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043f\u0438\u0448\u0438 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0430\u043b\u043e; \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u0443 \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430). \u0413\u043b\u0430\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0438\u0445 — \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0443\u044e \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0451\u0436\u043d\u0443\u044e (\u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u044b\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u043c \u043e\u0448\u0438\u0431\u043e\u043a) \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u0434\u0432\u043e\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432<\/em> — \u0434\u043b\u044f \u0447\u0435\u0433\u043e \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0435 \u0443\u043f\u043e\u043c\u044f\u043d\u0443\u0442\u043e\u0433\u043e \u0447\u0443\u0442\u044c \u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0442\u043e\u043a\u0430 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438 — \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0437 \u0442\u0435\u0445 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c. \u0423\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044f, \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0443\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0449\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u043b\u0438 \u0431\u044b \u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432\u043e\u0432\u0441\u0435 \u0431\u0435\u0437 \u0442\u043e\u043a\u043e\u0432, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0438\u0445 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0430 \u043d\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u0430\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0430 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044f; \u043d\u043e, \u0440\u0430\u0437 \u0434\u043b\u044f \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0442\u043e\u043a\u0438, \u0447\u0442\u043e \u0436 \u043f\u043e\u043f\u0438\u0448\u0435\u0448\u044c, — \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c \u0441 \u043d\u0438\u043c\u0438.<\/p>\n

\"CFET:<\/p>\n

\u0421\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b (\u043b\u044e\u0431\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0439) \u0441 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438, \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0447\u0438\u0441\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 (\u0431\u0443\u043a\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e 2 \u043d\u043c \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432), \u0432 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0435 \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u043d\u044b \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0414\u0435\u043b\u043e \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0451\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u044f \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e \u043f\u0440\u043e\u043f\u043e\u0440\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e — \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0443 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430; \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0442\u043e\u0439 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0435 (\u043f\u043e\u043b\u0443)\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430. \u0418\u0437-\u0437\u0430 \u043a\u0440\u043e\u0445\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u044b \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0451\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u044f \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u0430\u0445 \u0432\u043e\u043b\u044c\u0442 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043c \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0433\u0430\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0433\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0430\u043d\u0442\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440. \u0412 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0430\u044e\u0442 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0441\u0430\u043c\u0443 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430; \u0442\u0443\u043d\u043d\u0435\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u044c \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440, \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044f \u0441\u0432\u043e\u0438 \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430; \u043d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446, \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0446\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430. \u041d\u0435 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0437\u0430\u0431\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0451\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u044f \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u044f\u0435\u0442 \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430. \u0414\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u0436\u0435, \u0432 \u0441\u0432\u043e\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c, \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0446\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043f\u043e\u043d\u0442\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432 (conductive percolation path), \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0438\u0441\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u0438 \u0441\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c — \u0438 \u0442\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440 \u0432 \u0431\u0430\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a. \u0412 \u043e\u0431\u0449\u0435\u043c, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430\u043c \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043d\u0435 \u0431\u044b\u0442\u044c.<\/p>\n

⇡#\u041a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h2>\n

\u0418\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0447\u0438\u043f\u0435, \u0441\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e-\u0442\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u0439 \u043d\u0430\u0437\u0430\u0434 5 \u0412 \u043f\u043e\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u043e \u043d\u044b\u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e \u0434\u043e 1 \u0412: \u043d\u0430\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043d\u0438\u043a\u0430\u043a \u043d\u0435\u043b\u044c\u0437\u044f — \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u0432\u044b\u0439\u0434\u0435\u0442 \u0438\u0437 \u0441\u0442\u0440\u043e\u044f. \u0421\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0438\u043b\u0443 \u0442\u043e\u043a\u0430, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430. \u041d\u043e \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u043c \u043a\u0432\u0430\u0434\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u043c \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b — \u0442\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0441 \u0433\u0430\u043a\u043e\u043c \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u043e\u0432, \u0441\u0443\u043c\u043c\u0430\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u043b\u0430 \u0442\u043e\u043a\u0430, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0430\u044f \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0447\u0438\u043f\u0430 \u0446\u0435\u043b\u0438\u043a\u043e\u043c, \u043d\u0435\u043f\u0440\u0438\u043d\u0443\u0436\u0434\u0451\u043d\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0432\u0430\u043b\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0437\u0430 \u0441\u043e\u0442\u043d\u044e \u0430\u043c\u043f\u0435\u0440. \u0412\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 GAAFET \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0435\u0435 FinFET: \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0451\u0442 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044b \u043c\u043e\u043d\u043e\u043b\u0438\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u043c\u0438, \u0443\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u0443, \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0438\u043b\u044b \u0442\u043e\u043a\u0430 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 (\u0442\u043e\u0433\u043e \u0441\u0430\u043c\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u043a\u0430 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438 — drive current), \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440, — \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u044f\u0441\u044c \u043f\u0440\u0438\u0442\u043e\u043c \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n

\"CFET:<\/p>\n

\u0415\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0435\u0449\u0451 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043b\u044e\u0441 \u0440\u0430\u0437\u0432\u043e\u0440\u043e\u0442\u0430 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430 \u0438\u0437 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f («\u0433\u0440\u0435\u0431\u043d\u044f» \u0438\u043b\u0438 «\u0441\u043f\u0438\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u0438\u043a\u0430» \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 FinFET) \u0432 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435, \u043a\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u043d\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u0432 \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430. \u0414\u0435\u043b\u043e \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0440\u0435\u0448\u0451\u0442\u043a\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0432\u0430\u043d\u043a\u0438), \u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u0430, \u0438 \u043e\u0442 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043a\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438, \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u044f\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440. \u0427\u0430\u0449\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0441 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 100 (\u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0435 \u043d\u0430\u0437\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 — \u0438\u043d\u0434\u0435\u043a\u0441 \u041c\u0438\u043b\u043b\u0435\u0440\u0430). \u041d\u043e \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u043f\u0435\u0440\u043f\u0435\u043d\u0434\u0438\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 (\u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0442\u0430\u043a \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u043b\u0435\u0436\u0438\u0442 \u0432 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0435) \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 «\u0433\u0440\u0435\u0431\u0435\u043d\u044c» \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d \u0438\u0437 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0441 \u0438\u043d\u0434\u0435\u043a\u0441\u043e\u043c \u041c\u0438\u043b\u043b\u0435\u0440\u0430 110. \u0427\u0442\u043e \u043d\u0435 \u0441\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c-\u0442\u043e \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e: \u0445\u043e\u0442\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0441 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 110 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u0435\u0435, \u043e\u043d\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0443\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e \u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432. \u0412 \u043e\u0431\u0449\u0435\u043c, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0447\u0438\u043f\u0430 \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 GAAFET \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0449\u0443\u0442\u0438\u043c\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043a\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u0441 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0435\u043c \u043d\u0430 FinFET, \u0445\u043e\u0442\u044f \u0440\u0430\u0441\u043f\u043b\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0437\u0430 \u044d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0443\u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (\u0438 \u0443\u0434\u043e\u0440\u043e\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c, \u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f, \u043a\u0443\u0434\u0430 \u0436 \u0431\u0435\u0437 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e) \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430.<\/p>\n

\u0412\u043f\u0440\u043e\u0447\u0435\u043c, \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e GAAFET \u043d\u0435\u043b\u044c\u0437\u044f \u043d\u0430\u0437\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0441\u0438\u043b\u0430 \u0442\u043e\u043a\u0430 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f GAAFET-\u0441\u0445\u0435\u043c \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u044b\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430 FinFET \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 \u0442\u043e\u0439 \u0436\u0435 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043d\u043e\u0440\u043c\u044b, \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0438 \u0432 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0438\u0434\u0435\u043d\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b — \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0437\u043e\u043d\u044b \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0434\u044b\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0441\u0435\u0434\u043d\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0449\u0443\u0442\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043d\u0435 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0442\u044c \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043d\u0438\u043c\u0438 (\u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 p<\/em>MOS\/n<\/em>MOS separation). \u0427\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0443 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0442 \u0432\u0438\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b (forksheet FET architecture), \u0432 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0437\u043e\u043d\u044b \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0434\u044b\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0431\u043b\u0438\u0437\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u0438 \u0437\u043e\u043d\u044b \u043d\u0430 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u0441\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0443 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e: \u043f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u0439 \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438\u0434\u0451\u0442\u0441\u044f \u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0443 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043f\u0440\u043e\u043f\u043e\u0440\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u0442\u044c — \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0436\u0435 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f.<\/p>\n

\"CFET:<\/p>\n

\u0422\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c, \u0445\u043e\u0447\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u0435\u0440\u0438\u0442\u044c, \u0433\u043e\u0440\u0430\u0437\u0434\u043e \u044f\u0441\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430, \u043f\u043e \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 CFET \u0442\u0430\u043a \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 \u0443\u043c\u044b \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0449\u0438\u043a\u043e\u0432. \u0418 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u044b\u043c GAAFET, \u0438 \u0432\u0438\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u044b\u043c \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f n<\/em>— \u0438 p<\/em>-\u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u0441\u0443\u0449\u0430 \u0438\u043c\u043c\u0430\u043d\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e: \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u044d\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u043c \u0438\u0437 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u0439 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u044d\u0442\u0430\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438. \u0414\u043b\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0436\u0435 FET \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u0439 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0442\u0438\u043f\u043d\u043e\u0439<\/em> \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438: \u0443 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430 n<\/em>-\u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u044b \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0434 p<\/em>-\u0437\u043e\u043d\u0430\u043c\u0438. \u0410 \u044d\u0442\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 p<\/em>MOS\/n<\/em>MOS separation \u0432 \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0443 \u0441\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f: \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b — \u0442\u043e \u0435\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0437\u043e\u043d\u044b \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u043d\u0438\u0436\u043d\u0435\u0439 \u0438 \u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0435\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u044f\u0445 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437 \u043d\u0438\u0445 — \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0442\u044c \u0432\u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u0443\u044e, \u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0437\u0430\u0437\u043e\u0440\u043e\u043c, \u043d\u0435 \u0431\u0435\u0441\u043f\u043e\u043a\u043e\u044f\u0441\u044c \u043e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0438\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043d\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0438\u0445 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f\u0445 \u043e\u043a\u0430\u0436\u0443\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u044b \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0442\u043e\u0439 \u0436\u0435 \u043f\u043e\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n

⇡#\u0412\u043f\u0435\u0440\u0451\u0434, \u043a \u043f\u043e\u0431\u0435\u0434\u0435 CFET!<\/h2>\n

\u0422\u0430\u043a \u0437\u0430 \u0447\u0435\u043c \u0436\u0435, \u0441\u043f\u0440\u0430\u0448\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0434\u0435\u043b\u043e \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e? \u0412\u0441\u0435\u043c \u0447\u0438\u043c\u043f\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u0430\u043c \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0430 CFET, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0441\u0440\u0430\u0437\u0443 \u0436\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0435\u0434\u0432\u0430 \u043b\u0438 \u043d\u0435 \u0434\u0432\u0443\u043a\u0440\u0430\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0441\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432! \u0410\u0445, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0431\u044b \u0432\u0441\u0451 \u0431\u044b\u043b\u043e \u0442\u0430\u043a \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e… \u0412\u0437\u044f\u0442\u044c, \u043a \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u0443, \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u044b\u0439, \u043e\u043d \u0436\u0435 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043b\u0438\u0442\u043d\u044b\u0439, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, monolithic complementary FET (mCFET). \u041e\u043d \u043d\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0430 \u0443\u0436\u0435 \u043e\u0441\u0432\u043e\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0432\u0441\u0435 \u0448\u0430\u0433\u0438, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0437\u043e\u043d p<\/em>-\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435, \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0443\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430\u0434 \u043d\u0438\u043c\u0438 \u0438 \u0437\u0430\u043c\u044b\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438 n<\/em>-\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0443\u0434\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0435\u0440\u0448\u0451\u043d\u043d\u0443\u044e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0443\u044e \u0446\u0438\u043a\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0443. \u0414\u0440\u0443\u0433\u043e\u0435 \u0434\u0435\u043b\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u044c<\/em> \u0442\u0430\u043a\u0443\u044e \u0446\u0438\u043a\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0443 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043b\u0435\u043c\u043e \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c (\u0434\u043b\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430) \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u043c \u0431\u0440\u0430\u043a\u0430 \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e. \u0421\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u044b Imec \u0441\u0435\u0442\u0443\u044e\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438 \u0432 \u0445\u043e\u0434\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f mCFET — \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u0438\u0435: \u043c\u0430\u043b\u0435\u0439\u0448\u0435\u0435 \u0438\u0445 \u043d\u0435\u0441\u043e\u0431\u043b\u044e\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043b\u0438\u0431\u043e \u043a \u043e\u0431\u0440\u044b\u0432\u0443 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432 (\u043e\u0442 n<\/em>— \u043a p<\/em>-\u0441\u043b\u043e\u044e), \u043b\u0438\u0431\u043e \u043a \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0437\u0430\u043c\u044b\u043a\u0430\u043d\u0438\u044e, \u043b\u0438\u0431\u043e \u043a \u0435\u0449\u0451 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0430\u0434\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u044e \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0442\u043e\u0439 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0434\u0438\u043d-\u0435\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440. \u041f\u043e \u044d\u0442\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0435 \u043a\u0430\u0436\u0443\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043e\u0442 GAAFET \u043a mCFET \u0433\u0440\u043e\u0437\u0438\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0440\u043d\u0443\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0431\u0435\u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 — \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0434\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u0441 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 (yield rate — \u0432 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u043f\u0435\u0440\u0435\u0432\u0430\u043b\u0438\u0442\u044c \u0437\u0430 90%, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u0437\u0430\u0432\u0435\u0434\u043e\u043c\u043e \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043e\u043f\u0440\u0430\u0432\u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c) \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043d\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u043e\u043c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u043d\u0435 \u0432\u044b\u0439\u0434\u0435\u0442.<\/p>\n

\"CFET:<\/p>\n

\u0414\u0430\u0436\u0435 \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043a\u0430\u043a\u0438\u043c-\u0442\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u043f\u0440\u0438 CFET-\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0443\u0434\u0430\u0441\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0434\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043d\u0438\u0437\u0438\u0442\u044c \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0443 \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u0432 \u0438\u0433\u0440\u0443 \u0432\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0449\u0451 \u043e\u0434\u043d\u043e \u0441\u0435\u0440\u044c\u0451\u0437\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432. \u0417\u0430\u0442\u0440\u0430\u0433\u0438\u0432\u0430\u044f \u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u044b \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438, \u043c\u044b \u0443\u0436\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0449\u0430\u043b\u0438 \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0446\u0435\u043b\u044b\u0439 \u0440\u044f\u0434 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0440\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0441 \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d (high aspect ratio — HAR). \u0413\u0440\u0443\u0431\u043e \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u044f, \u0432 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0438\u043c\u044b\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0443 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043f\u0440\u043e\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0443\u0437\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u0446\u044b \u0441 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u043a \u0432\u044b\u0441\u043e\u0442\u0435 \u043e\u0442 10:1 \u0434\u043e 50:1, \u0430 \u0442\u043e \u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435, \u0441 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043c\u0438. \u0418 \u0437\u0430\u0433\u0432\u043e\u0437\u0434\u043a\u0430 \u0442\u0443\u0442 \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043a\u0438, \u043d\u0435 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438\u0445 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u044f\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0441\u043e\u0441\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443. \u0427\u0435\u043c \u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u0446\u0430 \u0438 \u0435\u0433\u043e \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u043e\u0439, \u0442\u0435\u043c \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0435\u0431\u044f \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0435\u043d\u0435\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0439 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442, \u043a\u0430\u043a \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (\u0444\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0430 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430) \u043e\u0442 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d: aspect ratio dependent etching (ARDE). \u0427\u0435\u043c ý\u0436\u0435 \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u0435\u0446 \u0438 \u0447\u0435\u043c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0435\u0433\u043e \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u0430, \u0442\u0435\u043c \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e<\/em> \u043c\u0435\u0434\u043b\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f: \u043f\u0440\u0438 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d 100:1 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044e \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u043d\u0430 \u0434\u043d\u0435 \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u0446\u0430 \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 1,5% \u043e\u0442 \u0435\u0451 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n

\u041d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u043c, \u0432\u043f\u0440\u043e\u0447\u0435\u043c, \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0435 \u0437\u0430\u043a\u0430\u043d\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f: \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0442\u044c \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u0435\u0446 \u0441 \u043f\u0440\u044f\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0440\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0430\u043c\u0438. \u0421\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u0435 \u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u0443\u0442\u044c \u0432\u0431\u043e\u043a, \u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u044f\u0441\u044c (\u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0447\u0442\u043e \u043c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u043d\u0438\u043d\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0441\u0440\u0435\u0430\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0430 \u043d\u0430 \u043d\u0435 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0435 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0435\u0439\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0431\u044b\u0442\u0438\u0435), \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044c \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u0446\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043a\u0430\u0437\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f, \u043f\u0440\u0438\u0447\u0451\u043c \u043f\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0432\u0435\u0441\u044c\u043c\u0430 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c. \u041c\u0430\u043b\u043e \u0442\u043e\u0433\u043e: \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0432 HAR-\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0438 \u0438\u043e\u043d\u044b, \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u043c\u0430\u0441\u0441\u0430\u043c (\u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0432\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u043e\u0432), \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0441\u043a\u043b\u043e\u043d\u043d\u044b \u043d\u0430\u043a\u0430\u043f\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0430\u0445 \u0438 \u0434\u043d\u0435 \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u0446\u0435\u0432 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044f \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043b\u044f, — \u0430 \u0442\u0435, \u0432 \u0441\u0432\u043e\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c, \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u044f\u044e\u0442 \u0432\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0435 \u0432 \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u0435\u0446 \u0438\u043e\u043d\u044b, \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u0441\u0442\u043e\u0445\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0438\u0441\u043a\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044f (\u0432\u044b\u0435\u043c\u043a\u0438, \u043d\u0430\u043a\u043b\u043e\u043d\u044b \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0447.). \u0427\u0435\u043c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u0432 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 mCFET, \u0442\u0435\u043c \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0434\u0430 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b.<\/p>\n

\"CFET:<\/p>\n

\u041c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0443\u043f\u043e\u043c\u044f\u043d\u0443\u0442\u044c \u0435\u0449\u0451 \u0438 \u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u0445 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f) \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0433\u0435\u0442\u0435\u0440\u043e\u0433\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f mCFET, \u0438 \u043e \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0443 ARDE \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043b\u043e\u044f\u043c\u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0440\u043e\u0432\u043d\u043e \u0432 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0430\u0442\u043e\u043c (atomic layer etching, ALE), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e, \u043f\u0440\u0438\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442 \u0432 \u0436\u0435\u0440\u0442\u0432\u0443 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f, \u043d\u0435\u043c\u0438\u043b\u043e\u0441\u0435\u0440\u0434\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u0442\u044f\u0433\u0438\u0432\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0446\u0438\u043a\u043b\u044b… \u0421\u043b\u043e\u0432\u043e\u043c, \u043f\u0440\u0438 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u0431\u0435\u0441\u0441\u043f\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445, \u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0431\u044b, \u0434\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0430 mCFET \u043e\u043d \u0441 \u043e\u0447\u0435\u0432\u0438\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043d\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0435\u0442 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443 «7A» — \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0442\u044b Imec \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0438 \u043d\u0435\u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u043a\u0430\u0437\u0430 \u043e\u0442 GAAFET \u0441\u043e \u0432\u0441\u0435\u043c\u0438 \u0435\u0433\u043e \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u043c\u0438 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438. \u0421\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u0445 CFET-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439<\/em> \u0441\u0445\u0435\u043c\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 (sequential CFET approach), \u043f\u043e\u0434\u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 «\u043f\u043e\u043b\u043e\u0432\u0438\u043d\u043e\u043a» \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 — \u0437\u043e\u043d \u0441 n<\/em>— \u0438 p<\/em>-\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0443\u0440\u044b, — \u0441 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043e\u043a \u0443\u0436\u0435 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e \u043e\u0442\u043b\u0430\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 (layer transfer process).<\/p>\n

\u0423 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b — \u0441\u0432\u043e\u0438, \u0442\u043e\u0436\u0435 \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u043e\u0447\u0435\u0432\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0441\u044b. \u041e\u043d\u0430 \u0430\u043f\u0440\u0438\u043e\u0440\u0438 \u0434\u043e\u0440\u043e\u0436\u0435 \u043f\u043e \u0441\u0435\u0431\u0435\u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 (\u043d\u0430 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u0432\u0435 \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u043b\u044e\u0441 \u043d\u0435\u0442\u0440\u0438\u0432\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0441\u043b\u043e\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u0442\u043e\u0439 \u0432 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u043e\u0432 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0441 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 300-\u043c\u043c \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043d\u0430 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0443\u044e), \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0432\u044b\u043d\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u0430 (\u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 500 °C, \u0438\u043d\u0430\u0447\u0435 \u0432\u0435\u043b\u0438\u043a \u0440\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0434\u0438\u0442\u044c \u0443\u0436\u0435 \u0441\u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430 \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b, — \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0434\u043b\u044f \u043f\u0443\u0449\u0435\u0439 \u043d\u0430\u0434\u0451\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 900 °C), \u0432\u0435\u043b\u0438\u043a\u0430 \u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0448\u0438\u0431\u043e\u043a \u043f\u0440\u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0451\u0432 \u0438 \u0442. \u0434. \u0422\u0435\u043c \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u044d\u0442\u0438 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f — \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0451\u0442 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043d\u0435\u0442\u0440\u0438\u0432\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0448\u0430\u0433\u043e\u0432, \u043a\u0430\u043a \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u0447\u0430\u0442\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432, — \u0438 \u0443\u0436\u0435 \u043a \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0443 2030-\u0445 CFET \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438 \u0438\u043d\u043e\u043c \u0432\u0438\u0434\u0435 \u043d\u0430\u0432\u0435\u0440\u043d\u044f\u043a\u0430 \u043d\u0430\u0447\u043d\u0443\u0442 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043c\u0435\u0439\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u043c\u043e\u043c \u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n

\"CFET:<\/p>\n

\u041f\u043e\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0447\u0442\u043e \u0438\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0430 \u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u0442\u044c \u043c\u0430\u0440\u043a\u0435\u0442\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u044b\u0439 «1-\u043d\u043c» \u0440\u0443\u0431\u0435\u0436 \u0443 \u043d\u044b\u043d\u0435 \u043e\u0442\u043b\u0430\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u043d\u0435\u0442 — \u0430 \u0442\u043e\u0440\u043c\u043e\u0437\u0438\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0442\u043e\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430 \u044f\u0432\u043d\u043e \u043d\u0438\u043a\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043d\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d. \u0421\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u0443\u0436 \u0432\u0435\u043b\u0438\u043a\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 (\u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043d\u0435\u0443\u043a\u043b\u043e\u043d\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u0442\u0443\u0442 \u0430\u043f\u043f\u0435\u0442\u0438\u0442\u044b \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u044f\u0437\u044b\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0435\u0439), \u0430 \u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c \u043a\u0430\u043a \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043f\u043e-\u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0435\u043c\u0443 \u043d\u0435 \u0432\u0438\u0434\u043d\u043e. \u0417\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442, \u043d\u0438\u043a\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0438\u043d\u044b\u0445 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0435\u0442, — \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e CFET, \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432\u043f\u0435\u0440\u0451\u0434!<\/p>\n

\t \t \t \t\t \t\t \t \t\t \t\t \t

\t \t \t <\/center> \t \t \t \t \t \t \t\t\t\t \t \t \t \t
<\/center>
<\/center> <\/center><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

\u041a\u0430\u043a \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e \u0432 \u0441\u0435\u0440\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435 2026 \u0433\u043e\u0434\u0430, \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0430\u044f \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u0430 \u043f\u043e\u0434 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0421\u044e\u044d\u043b\u044d\u044f \u041b\u044f\u043d\u0430 (Xuelei Liang) \u0438\u0437 \u0428\u043a\u043e\u043b\u044b \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u041f\u0435\u043a\u0438\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442\u0430 \u0432\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043b\u0430 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0443\u0440\u044b \u0446\u0435\u043b\u0438\u043a\u043e\u043c \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 CFET — \u0441 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a. \u041f\u043e \u0443\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0432\u044b\u0448\u043b\u0430 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439: \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u043d\u0430\u0434 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0439 \u0437\u043e\u043d\u044b \u0434\u044b\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 (n-FET) \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 (p-FET) \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0434\u0435\u043d\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b \u043f\u043e \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c. \u041f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0437 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043f\u0440\u043e\u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b \u0437\u0430\u0432\u0438\u0434\u043d\u0443\u044e \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043d\u0443\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435 \u043f\u043e\u0434 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 1,0 \u0412 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f 164 — \u0441\u0430\u043c\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430-\u043b\u0438\u0431\u043e […]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":218019,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[1],"tags":[],"class_list":["post-218018","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-1","cat-1-id","has_thumb"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/218018","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=218018"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/218018\/revisions"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/media\/218019"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=218018"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=218018"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=218018"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}