{"id":53490,"date":"2025-06-25T00:50:53","date_gmt":"2025-06-24T21:50:54","guid":{"rendered":"https:\/\/cinemaxone.ru\/?p=53490"},"modified":"2025-06-25T00:50:53","modified_gmt":"2025-06-24T21:50:54","slug":"razrybit-euv-yzel","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/cinemaxone.ru\/?p=53490","title":{"rendered":"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0443\u0431\u0438\u0442\u044c EUV-\u0443\u0437\u0435\u043b"},"content":{"rendered":"

\u0424\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f (EUV), \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 (High-NA; \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u044b \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c — 0,55 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 0,33 \u0443 \u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0438\u0445 EUV-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d), — \u0443\u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0434\u0435\u0448\u0451\u0432\u043e\u0435: \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 400 \u043c\u043b\u043d \u0434\u043e\u043b\u043b. \u0421\u0428\u0410 \u0437\u0430 \u0448\u0442\u0443\u0447\u043a\u0443. \u0414\u0430, \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u0445-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0430\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u043f\u043e «3-\u043d\u043c», «2-\u043d\u043c» \u0438 \u0435\u0449\u0451 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u043d\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043d\u0430 EUV-\u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442\u0430\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043a\u0440\u043e\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u0432 \u0446\u0435\u043d\u0435 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432\u0435\u043b\u0438\u043a\u0430 (\u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430 50 \u043c\u043b\u043d \u0434\u043e\u043b\u043b.), \u0447\u0442\u043e \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0443\u0441\u043f\u0435\u0448\u043d\u044b\u0439 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0435\u0442\u044b, \u0442\u0430\u0439\u0432\u0430\u043d\u044c\u0441\u043a\u0430\u044f TSMC, \u043f\u043e\u043a\u0430 \u043d\u0435 \u0441\u043f\u0435\u0448\u0438\u0442 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441\u043e \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443 \u0433\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0441\u043a\u043e\u0439 ASML — \u0435\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430 \u0432\u0435\u0441\u044c \u043c\u0438\u0440 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a — \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0433\u043e High-NA-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430, \u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u044f\u0441\u044c \u0434\u043e \u0441\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0440 — \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 «2 \u043d\u043c» — \u0434\u043e\u043d\u0430\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0439 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0440\u0430\u043d\u043d\u0438\u0445 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432. \u0418 \u044d\u0442\u043e \u0432\u043e\u0432\u0441\u0435 \u043d\u0435 \u0438\u0437 \u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 «\u041e\u0442 \u0434\u043e\u0431\u0440\u0430 \u0434\u043e\u0431\u0440\u0430 \u043d\u0435 \u0438\u0449\u0443\u0442», \u0430 \u043f\u043e \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0435: \u0441\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u0443\u0436 \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0443\u0447\u0435\u0441\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u0435 \u0433\u0435\u043e\u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u0438 — \u0437\u0430\u043f\u0440\u0435\u0442 \u041c\u0438\u043d\u0442\u043e\u0440\u0433\u0430 \u0421\u0428\u0410 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 \u0432 \u041a\u041d\u0420 \u043a\u0430\u043a \u0441\u0430\u043c\u043e\u0433ó \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0434\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430 \u043d\u0451\u043c \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c — \u0434\u0440\u0430\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u0443\u0436\u0430\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0441\u0431\u044b\u0442\u0430 \u0442\u043e\u0433\u043e \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445, \u0441\u0440\u043e\u043a\u0438 \u043e\u043a\u0443\u043f\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u043e\u0432\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u0440\u0430\u0441\u0442\u044f\u0433\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0438 \u0432\u043e\u0432\u0441\u0435 \u0434\u043e \u043a\u0430\u043a\u0438\u0445-\u0442\u043e \u043d\u0435\u043f\u0440\u0438\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043e\u0432. \u041f\u0440\u0438\u0431\u0430\u0432\u0438\u043c \u0441\u044e\u0434\u0430 \u0432\u0441\u0451 \u043d\u0438\u043a\u0430\u043a \u043d\u0435 \u0436\u0435\u043b\u0430\u044e\u0449\u0443\u044e \u0438\u0434\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043f\u0440\u0430\u0432\u043a\u0443 \u0433\u043b\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0443: \u043d\u0435\u043f\u0440\u0438\u0432\u044b\u0447\u043d\u043e (\u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0432\u0435\u043a\u0430) \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 \u0440\u0435\u0444\u0438\u043d\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u043e\u0431\u0430\u043d\u043a\u043e\u0432, \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u044f \u0441 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0424\u0420\u0421, \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0441\u0440\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0446\u0438\u0438 \u043e\u0442\u043a\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0435\u0432\u044b\u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0435 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0435\u0442\u044b.<\/p>\n

<\/center> \t\t\t\t
<\/center> <\/p>\n

\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0443\u0431\u0438\u0442\u044c<\/p>\n

\u0412 \u0442\u043e \u0436\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u043e\u0447\u0435\u0432\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0430\u0436\u0438\u043e\u0442\u0430\u0436 \u0432\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433 \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0430 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u0441\u044f \u0445\u043e\u0442\u044f \u0431\u044b \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0441\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u0435 (3-5 \u043b\u0435\u0442), \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e \u043d\u0430\u0431\u0438\u0442\u044b\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f, \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0447\u0438\u043f\u044b \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u0441\u0451-\u0442\u0430\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0438\u0434\u0451\u0442\u0441\u044f, \u0438\u043d\u0430\u0447\u0435 \u043d\u0435 \u0432\u044b\u0439\u0434\u0435\u0442 \u0430\u0434\u0435\u043a\u0432\u0430\u0442\u043d\u043e \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441\u043e \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0430 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e; \u043e\u0431 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043c\u044b \u0443\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u043b\u0438 \u0432 \u043d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u0435\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0435 «\u0417\u0430\u0434\u0430\u0447\u0430 \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d». \u041d\u0435\u0443\u0434\u0438\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e High-NA EUV \u043a\u0430\u043a \u043e\u0442\u043a\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u044d\u043a\u0441\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0432\u0435\u0442\u043a\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0438\u0449\u0443\u0442 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0443, \u043f\u0440\u0438\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e \u043e\u0431\u0435 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u0422\u0438\u0445\u043e\u0433\u043e \u043e\u043a\u0435\u0430\u043d\u0430. \u0418 \u0432 \u041a\u041d\u0420, \u0432\u043e\u043b\u044e\u043d\u0442\u0430\u0440\u0438\u0441\u0442\u0441\u043a\u0438 \u043e\u0442\u0440\u0435\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0430, \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0435\u0434\u0443\u0442 \u0435\u0434\u0432\u0430 \u043b\u0438 \u043d\u0435 \u0443\u0441\u0435\u0440\u0434\u043d\u0435\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0432 \u0421\u0428\u0410, \u0447\u0442\u043e \u0437\u0430\u0434\u044b\u0445\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043d\u0435\u0443\u043a\u043b\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0437\u043b\u0451\u0442\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0444\u043e\u043d\u0435 \u0432\u0441\u0451 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u043e\u0447\u0430\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0432 \u0434\u043e\u043b\u043b\u0430\u0440\u0435 (\u0438 \u043d\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432 \u043d\u0451\u043c \u0446\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0431\u0443\u043c\u0430\u0433\u0430\u0445) \u043a\u0430\u043a \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u043d\u043e\u043c \u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435- \u0438 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0441\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0431\u0435\u0440\u0435\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u043f\u0438\u0442\u0430\u043b\u0430.<\/p>\n

⇡#\u041f\u0440\u0438 \u0432\u0441\u0451\u043c \u0431\u043e\u0433\u0430\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430…<\/h2>\n

\u0427\u0443\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0430\u0437\u0430\u0434 \u043c\u044b \u0443\u0436\u0435 \u0434\u0435\u043b\u0430\u043b\u0438 \u043e\u0431\u0437\u043e\u0440 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u0432 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0435 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043e\u043f\u0435\u0440\u043d\u0438\u0447\u0430\u0442\u044c \u0441 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430\u043c\u0438 High-NA EUV, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u043d\u0430 LPP (laser-produced plasma — \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443, \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u0443\u044e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u0430\u043c\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u0441\u043f\u0430\u0440\u044f\u044e\u0442 \u043a\u0430\u043f\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0433\u043e \u043e\u043b\u043e\u0432\u0430). \u041f\u0435\u0440\u0435\u0447\u0435\u043d\u044c \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u0437\u043e\u043a: \u044d\u0442\u043e \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430, \u043d\u043e \u0441 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u043c \u043d\u0430 \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430\u0445 (FEL EUV), \u0432\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043c \u0441\u0445\u043e\u0436\u0430\u044f \u0441 \u043d\u0435\u0439 «\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0443\u0448\u043a\u0430» \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f \u0441\u043e \u0441\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u0440\u043d\u044b\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 (SSMB EUV), \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0430\u0445, \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0438, \u043d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446, \u043d\u0430\u043d\u043e\u0438\u043c\u043f\u0440\u0438\u043d\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b. \u041a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0438\u0437 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432 — \u043f\u043e \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0440\u0435, \u0442\u0430\u043a \u043e\u0431\u0435\u0449\u0430\u044e\u0442 \u0438\u0445 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438, — \u043f\u0440\u0438\u0437\u0432\u0430\u043d \u0441\u043d\u044f\u0442\u044c \u0441 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0434\u043d\u044f \u043e\u0434\u0438\u043d, \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0432\u0441\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438 LPP EUV: \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435, \u0430 \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0432\u0435\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 (\u0447\u0442\u043e \u0437\u0430\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u044f\u0435\u0442, \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043a\u0430\u043a \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u0445 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0441\u0432\u043e\u0435\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0432\u044b\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0441\u0435\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u043d\u0438\u0445 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0432 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043f\u043e\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446); \u0447\u0443\u0434\u043e\u0432\u0438\u0449\u043d\u043e \u043d\u0435\u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u041a\u041f\u0414 (\u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0442\u044c \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e 1 \u043a\u0412\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443, \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0434\u043e 4,4 \u041c\u0412\u0442 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u0430 \u0434\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0434\u043e\u0431\u0438\u0440\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438 \u0432\u043e\u0432\u0441\u0435 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0430\u0442\u0442\u044b), \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0445\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0431\u043e\u0435\u0432 \u0442\u0438\u043f\u0430 line break \u0438 micro-bridging \u0438 \u0442. \u0434. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u0438\u0437\u043e\u0449\u0440\u0451\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b — 13,5 \u043d\u043c — \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u043e \u0443\u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0443\u0437\u0435\u043b \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430: \u043a \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u0443, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0431\u0440\u044b\u0437\u0433\u0438 \u0438 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b \u0438\u0441\u043f\u0430\u0440\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c \u043b\u0443\u0447\u043e\u043c \u043e\u043b\u043e\u0432\u044f\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0430\u043f\u0435\u043b\u0435\u043a \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u043d\u0438 \u043d\u0435 \u043e\u0441\u0435\u0434\u0430\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0445 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, \u0441\u0434\u0443\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u0433\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435 600 \u043b\u0438\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0432 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442\u0443. \u0414\u0430, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0433\u0430\u0437 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0443\u043b\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e, \u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0438 \u0438\u0437\u044f\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e \u043a\u0430\u043a \u0438 \u0434\u0435\u0448\u0435\u0432\u0438\u0437\u043d\u044b, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0435 \u0432 \u0446\u0435\u043b\u043e\u043c \u0432\u0441\u0451 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0442\u043d\u044e\u0434\u044c \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442.<\/p>\n

\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0443\u0431\u0438\u0442\u044c<\/p>\n

\u0423 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0430 FEL EUV, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043d\u0430 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0438 \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0437\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f\u0445 \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442, \u043f\u043e\u0436\u0430\u043b\u0443\u0439, \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043a\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0447\u0438\u0445 \u0441\u043e\u043f\u0435\u0440\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 LPP, — \u0441\u0432\u043e\u044f \u043d\u0435\u043c\u0430\u043b\u0430\u044f \u0432 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043c \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u043c \u0441\u043c\u044b\u0441\u043b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c: \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0433\u0438\u0433\u0430\u043d\u0442\u0438\u0437\u043c. \u042f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0438\u0437 High Energy Accelerator Research Organization (\u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u043d\u044f\u0442\u0430\u044f \u0434\u043b\u044f \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0443\u0447\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0430\u0431\u0431\u0440\u0435\u0432\u0438\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043d\u0435 \u043e\u0442 \u0430\u043d\u0433\u043b\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e, \u0430 \u043e\u0442 \u0437\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0430\u0442\u0438\u043d\u0438\u0446\u0435\u0439 \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0437\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f — KEK) \u0443\u0436\u0435 \u043d\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 \u0433\u043e\u0434 \u0443\u0441\u043f\u0435\u0448\u043d\u043e \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043f\u0443\u0447\u043a\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c, \u043f\u0440\u043e\u0433\u043e\u043d\u044f\u044f \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043e\u043d\u0434\u0443\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440, \u0438\u0441\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0442\u044c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u044b \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0451\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b (\u0441 \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0441\u043f\u0435\u0440\u0441\u0438\u0435\u0439, \u0447\u0442\u043e \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 — \u043e\u0433\u0440\u043e\u043c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043b\u044e\u0441), \u043f\u0440\u0438\u0447\u0451\u043c \u0441 \u041a\u041f\u0414 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 1-10%, \u0434\u043b\u044f LPP EUV \u0432 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0435 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u044b\u043c. \u0418 \u0432\u0441\u0451 \u0431\u044b\u043b\u043e \u0431\u044b \u0437\u0430\u043c\u0435\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e — \u0432 \u0447\u0451\u043c \u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d, \u043a\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438, \u0438 \u0431\u044b\u0432\u0448\u0438\u0439 \u0433\u0435\u043d\u0434\u0438\u0440\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440 Intel \u041f\u044d\u0442 \u0413\u0435\u043b\u0441\u0438\u043d\u0433\u0435\u0440 (Pat Gelsinger), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0432 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 2025-\u0433\u043e \u0441\u0442\u0430\u043b \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0435\u0434\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 xLight, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0439 FEL-\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a, \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u044b\u0439 \u0441 \u043d\u044b\u043d\u0435 \u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c, — \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0431\u044b \u043d\u0435 \u043e\u0434\u043d\u043e \u043d\u043e. \u0410 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e: \u043f\u043e \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430\u043c \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 KEK, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0446\u0435\u043b\u0438\u043a\u043e\u043c \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 \u0437\u0430\u043b 60×20 \u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u0441 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0435\u0439 17 \u041c\u044d\u0412 (\u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439, \u0432 \u0441\u0432\u043e\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c, \u043f\u043e\u0440\u043e\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0435\u0440\u0438\u044e \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043e\u0432 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 20 \u043c\u043a\u043c, — \u043d\u043e \u044d\u0442\u043e, \u0443\u0432\u044b, \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043d\u0435 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0431\u043b\u0438\u0436\u043d\u0438\u0439 \u0418\u041a-\u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d. \u0414\u0430, \u0440\u0435\u0447\u044c \u043f\u043e\u043a\u0430 \u0438\u0434\u0451\u0442 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f\u0435, \u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f — \u0441 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043b\u0435\u0447\u0430 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438, \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432, \u0447\u0438\u0441\u043b\u0430 \u0438 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043e\u043d\u0434\u0443\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043e\u0432 — (\u0442\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438) \u0443\u0434\u0430\u0441\u0442\u0441\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e \u0442\u043e\u043c\u0443 \u0436\u0435 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0443 \u0438 \u0432\u043e\u0436\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 13,5-\u043d\u043c FEL-\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432. \u0418\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0441 \u044d\u0442\u0438\u043c \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0440\u0430\u0437 \u0443\u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u0451\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u043c \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u0430\u044f \u0441\u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u043d\u0430 800 \u041c\u044d\u0412, — \u0432 2021 \u0433. \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0446\u0435\u043d\u0438\u0432\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432 260 \u043c\u043b\u043d \u0434\u043e\u043b\u043b. \u0421\u0428\u0410, \u0430 \u0435\u0436\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u044b \u043d\u0430 \u0435\u0451 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 — \u0435\u0449\u0451 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432 25 \u043c\u043b\u043d \u0434\u043e\u043b\u043b. \u0412 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f\u0448\u043d\u0438\u0445 \u0446\u0435\u043d\u0430\u0445 \u044d\u0442\u043e \u043d\u0430\u0432\u0435\u0440\u043d\u044f\u043a\u0430 \u043e\u043a\u0430\u0436\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043e\u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043c\u043e \u0441\u043e \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c\u043a\u043e\u0439 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 EUV, \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043d\u0435 High-NA, — \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e, \u043d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, FEL-\u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u043b\u0438\u0448\u044c \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432,<\/em> \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043d\u0430\u0434\u043e \u0435\u0449\u0451 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0445\u0435\u043c\u0443 \u0438 \u0434\u0430\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0443.<\/p>\n

\u0418\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u043c\u0438, \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u0441 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f FEL EUV \u043e\u0431\u043e\u0439\u0434\u0451\u0442\u0441\u044f, \u043f\u043e \u0433\u0440\u0443\u0431\u044b\u043c \u043f\u0440\u0438\u043a\u0438\u0434\u043a\u0430\u043c, \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435-\u0432\u0442\u0440\u043e\u0435 \u0434\u043e\u0440\u043e\u0436\u0435 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0435\u0433\u043e \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u043f\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442\u0430 \u043f\u043e\u0434 \u043c\u0430\u0440\u043a\u043e\u0439 ASML, \u043d\u0435 \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u044f \u0443\u0436\u0435 \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u043b\u0438\u0448\u044c \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 \u043e\u043f\u044b\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0435\u0446; \u0438 \u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0437\u0430\u0439\u043c\u0451\u0442 \u0432\u044b\u0432\u043e\u0434 \u0435\u0433\u043e \u043d\u0430 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u043f\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c — \u043d\u0435\u043f\u043e\u043d\u044f\u0442\u043d\u043e. \u0418, \u0441\u0430\u043c\u043e\u0435 \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u043e\u0435, \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0438\u0447\u0435\u0433\u043e \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u0443\u043f\u0430\u0442\u0435\u043b\u044e \u043e\u043d \u043d\u0435 \u0434\u0430\u0441\u0442 — \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u043b\u0438\u0448\u044c \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u0442 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430; \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0436\u0435 \u0431\u043b\u043e\u043a \u0438 \u0443\u0437\u0435\u043b \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0438\u0434\u0451\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0438\u043c\u0438. \u0410 \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u043a\u0440\u043e\u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u044f\u0445, \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u043c\u0441\u044f, \u043d\u0430\u0432\u0440\u044f\u0434 \u043b\u0438 \u043e\u0442\u044b\u0449\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u043e\u0440 (\u0434\u0430\u0436\u0435 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u043d\u0435 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0433\u043e \u0431\u0435\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0430), \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0432\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u044c \u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u0441\u043a\u0443\u044e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u0442\u044c \u043b\u0438\u0448\u044c \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c<\/em> \u043f\u0443\u0441\u0442\u044c \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0439 \u0438 \u043d\u0435\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439, \u043d\u043e \u0443\u0436\u0435 \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u043e\u0442\u043b\u0430\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b High-NA EUV. \u0421\u0430\u043c\u0438\u043c \u0421\u0428\u0410 \u044d\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u043d\u0435\u0432\u044b\u0433\u043e\u0434\u043d\u043e, — \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0430\u044f \u0434\u043e\u043b\u044f \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0433\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0441\u043a\u0430\u044f ASML \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b, \u043f\u0440\u0438\u043d\u0430\u0434\u043b\u0435\u0436\u0430\u0442 \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c; \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443, \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e, \u0432\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044b \u043f\u043e \u0442\u0443 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u0410\u0442\u043b\u0430\u043d\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0430\u0432\u043e \u0443\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u0435\u0432\u0440\u043e\u043f\u0435\u0439\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044e, \u043a\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u0435\u0433\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u043a\u0438, \u0430 \u043a\u043e\u043c\u0443 \u043d\u0435\u0442.<\/p>\n

\u041a\u041d\u0420 — \u0434\u0435\u043b\u043e \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0435; \u0438, \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u041f\u043e\u0434\u043d\u0435\u0431\u0435\u0441\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0443\u0447\u043a\u0438 (\u0435\u0441\u0442\u044c \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0448\u0430\u043d\u0441, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043e\u0442 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0446\u0435\u043b\u044c\u044e \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f, \u0430 \u043e\u0442 \u0443\u0436\u0435 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0434\u0430 — \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e \u0442\u0435 \u0443\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u044b \u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0442) \u0432\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0447\u043d\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0441 \u0446\u0435\u043b\u044c\u044e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c. \u0412 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 \u0432\u0435\u0441\u043d\u044b 2024 \u0433. \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0432\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438, \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044f \u043d\u0430\u043c\u0435\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0443 «Made in China 2025», \u043f\u0440\u043e\u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0430\u0434\u043b\u0435\u0436\u0430\u0449\u0438\u0435 \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0443 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0431\u0430\u043d\u043a\u0438 \u044d\u043a\u0432\u0438\u0432\u0430\u043b\u0435\u043d\u0442\u043d\u0443\u044e 47,5 \u043c\u043b\u0440\u0434 \u0434\u043e\u043b\u043b. \u0441\u0443\u043c\u043c\u0443 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u0438 — \u0442\u043e\u0447\u043d\u0435\u0435, \u0432 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 China Integrated Circuit Industry Investment Fund, \u0432\u044b\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0438 \u0446\u0435\u043b\u0438. \u0412\u043d\u0443\u0448\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0446\u0438\u044f \u0441\u0442\u0430\u043b\u0430 \u0443\u0436\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0442\u044c\u0435\u0439 \u043f\u043e \u0441\u0447\u0451\u0442\u0443: \u043f\u0435\u0440\u0432\u0430\u044f, \u043d\u0430 19,2 \u043c\u043b\u0440\u0434 \u0434\u043e\u043b\u043b., \u0431\u044b\u043b\u0430 \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043d\u0430 \u0435\u0449\u0451 \u0432 2014-\u043c; \u0432\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f, \u043d\u0430 28,2 \u043c\u043b\u0440\u0434 \u0434\u043e\u043b\u043b., — \u0432 2019-\u043c. \u0412 \u0438\u0442\u043e\u0433\u0435 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u043e \u041a\u041d\u0420 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0431\u0449\u0435\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432 \u0443\u0436\u0435 \u043a 2030 \u0433.<\/p>\n

\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0443\u0431\u0438\u0442\u044c<\/p>\n

\u0421\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e, \u0435\u0449\u0451 \u0432 2022-\u043c Huawei \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043e\u0432\u0430\u043b\u0430 \u0441\u0432\u043e\u044e \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043d\u0443\u044e \u0437\u0430\u044f\u0432\u043a\u0443 \u0437\u0430 \u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c 202110524685X \u043d\u0430 \u043e\u0440\u0438\u0433\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 (\u0442\u043e\u0447\u043d\u0435\u0435, \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440, \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440, — \u043c\u044b \u0443\u0436\u0435 \u043e\u0431\u0441\u0443\u0436\u0434\u0430\u043b\u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u044e \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u043d\u043e\u0432, \u0432 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445) \u0446\u0435\u043b\u0438\u043a\u043e\u043c,<\/em> \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443, \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u0437\u0435\u043b \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (\u0433\u0434\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0435 \u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0434\u0443\u0440\u044b \u0441 \u043d\u0438\u043c), \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435. \u042f\u0441\u043d\u043e\u0435 \u0434\u0435\u043b\u043e, \u0441\u0430\u043c \u0444\u0430\u043a\u0442 \u043e\u0431\u044a\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0442\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d \u0432 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u044f\u0445 \u0438 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432 \u043a \u0432\u043e\u043f\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u044e \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0435 (\u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0441\u043c\u044b\u0441\u043b \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f) \u0432\u043e\u0432\u0441\u0435 \u043d\u0435 \u044d\u043a\u0432\u0438\u0432\u0430\u043b\u0435\u043d\u0442\u0435\u043d \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0435\u043c\u0435\u0434\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u0442\u044c \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043a \u0441\u0431\u043e\u0440\u043a\u0435 \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043d\u0435 \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u044f \u0443\u0436\u0435 \u043e \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0433\u043e\u0434 \u0441\u043f\u0443\u0441\u0442\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f SMEE (Shanghai Micro Electronics Equipment), \u0432\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u0439 \u0432 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u043c \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432, \u0437\u0430\u0440\u0435\u0433\u0438\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0430 \u0443\u0436\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043c\u0435\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442 — \u043d\u0430 «\u0413\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0435\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435». \u041f\u0440\u0430\u0432\u0434\u0430, \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u0440\u0435\u0447\u044c \u0438\u0434\u0451\u0442 \u043e \u0432\u0441\u0451 \u0442\u043e\u0439 \u0436\u0435 LPP, — \u0441\u0443\u0434\u044f \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u043c\u0443, \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e\u0441\u044f \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u0421\u0428\u0410 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0432 \u041a\u041d\u0420 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0440\u0435\u0448\u0438\u043b\u0438 \u043d\u0435 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c \u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0443 \u043d\u0430 \u043d\u0435 \u043e\u0441\u0432\u043e\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u043d\u0438\u043a\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c, \u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0440\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432\u043e\u0441\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0443\u0436\u0435 \u0441 \u0433\u0430\u0440\u0430\u043d\u0442\u0438\u0435\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0435\u0442. \u0418 \u043e\u0441\u0443\u0436\u0434\u0430\u0442\u044c \u0438\u0445 \u0437\u0430 \u044d\u0442\u043e \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e — \u043d\u0435 \u043e\u043d\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435, \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435.<\/p>\n

⇡#\u0415\u0441\u0442\u044c \u043a\u0443\u0434\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0438<\/h2>\n

\u0412\u043f\u0440\u043e\u0447\u0435\u043c, \u0435\u0441\u0442\u044c \u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043a\u043e\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e\u0434\u0438\u043d \u043a \u043e\u0434\u043d\u043e\u043c\u0443 EUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b ASML (\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044f \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430 \u0432 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u044b \u043f\u0440\u0430\u0432 \u043d\u0430 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u044f \u043e \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435 \u0434\u0435\u043b\u0430) \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u043c \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0434\u0451\u0442\u0441\u044f: \u043f\u043e \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0440\u0435, \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0438 \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0432 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0435 \u0443 \u043d\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0430\u0432\u0435\u0440\u043d\u044f\u043a\u0430 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0438\u043d\u044b\u043c\u0438. \u0414\u0435\u043b\u043e \u043e\u043f\u044f\u0442\u044c-\u0442\u0430\u043a\u0438 \u043d\u0435 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e ASML \u043d\u044b\u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0430\u0434\u043b\u0435\u0436\u0430\u0442 \u0432\u0441\u0435 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b \u043d\u0430 \u0433\u0440\u043e\u043c\u043e\u0437\u0434\u043a\u0443\u044e \u0438 \u043a\u0430\u043f\u0440\u0438\u0437\u043d\u0443\u044e \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044e, \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434 \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u0430\u043c\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435\u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0447\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u043e\u043b\u043e\u0432\u044f\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043a\u0430\u043f\u043b\u0438, \u0430 \u0432 \u043f\u0430\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439, \u043d\u0430 \u0447\u0442\u043e \u043c\u044b \u0443\u0436\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0449\u0430\u043b\u0438 \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435, \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430: \u043e\u043d \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0436\u0443\u0442\u043a\u043e \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044e \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0432 \u0433\u0430\u0440\u0433\u0430\u043d\u0442\u044e\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c\u0430\u0445, \u0438 \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0435\u0433\u043e \u0432\u043b\u0435\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u043a\u043e\u043f\u0435\u0435\u0447\u043a\u0443. \u0421\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u0442\u0440\u043e\u043d \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u043b\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0435 \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u0431\u0435\u0441\u0441\u043f\u043e\u0440\u043d\u044b\u043c \u0448\u0430\u0433\u043e\u043c \u0432\u043f\u0435\u0440\u0451\u0434 — \u043e\u043d \u0432\u0435\u043b\u0438\u043a \u0438 \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433 \u0441\u0430\u043c \u043f\u043e \u0441\u0435\u0431\u0435. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0443 \u043d\u0435\u0433\u043e, \u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u043c\u0441\u044f, \u0435\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f; \u043d\u0438\u043a\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043c\u0435\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0438 \u0442\u043e\u0442 \u0436\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0437\u044b\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0439, \u0438 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043a\u043e\u0433\u0435\u0440\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0445 EUV-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0439, \u0438 \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u043a\u0443\u0434\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u043d\u0435\u0435 \u0431\u044b\u043b\u043e \u0431\u044b \u0432\u0441\u0451-\u0442\u0430\u043a\u0438 \u043e\u0442\u044b\u0441\u043a\u0430\u0442\u044c \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a 13,5-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0431\u044b\u043b \u0431\u044b \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u0435\u0435 \u0438 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u043d\u0435\u0435 \u043d\u044b\u043d\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b\u0445. \u0418 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0432\u0435\u0434\u0443\u0442\u0441\u044f — \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0446\u043e\u0432, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a \u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e «\u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0432 \u043e\u043a\u043e\u0448\u043a\u0435» EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f Cymer \u0438\u0437 \u0421\u0430\u043d-\u0414\u0438\u0435\u0433\u043e, \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f (\u0441 \u043d\u0435 \u0441\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0439 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0438 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e 30 \u0412\u0442) \u043f\u0440\u043e\u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0430 \u0432 2007 \u0433., \u0430 \u043d\u0430 250-\u0412\u0442 \u0440\u0443\u0431\u0435\u0436 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0448\u043b\u0430 \u0432 2014-\u043c. \u0421 \u0442\u0435\u0445 \u043f\u043e\u0440 \u043f\u0440\u043e\u0448\u043b\u043e \u0443\u0436\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u0430 \u043b\u0435\u0442 — \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u043d\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u0431\u044b \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0445\u043e\u0442\u044f \u0431 \u0432 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f\u0445 \u044d\u0442\u0438\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u0442\u0430\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f.<\/p>\n

\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0443\u0431\u0438\u0442\u044c<\/p>\n

\u0410 \u043d\u0438\u043a\u0442\u043e \u0438 \u043d\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u043b: \u043b\u0435\u0442\u043e\u043c 2024 \u0433. \u0432 \u041e\u043a\u0438\u043d\u0430\u0432\u0441\u043a\u043e\u043c \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442\u0435 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 (Okinawa Institute of Science and Technology, OIST) \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0438\u043b\u0438 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u043f\u0440\u043e\u0449\u0451\u043d\u043d\u0443\u044e \u0441\u0445\u0435\u043c\u0443 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 — \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u043a\u0430\u0441\u043a\u0430\u0434\u0430 \u0430\u0441\u0444\u0435\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u0432 \u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0443 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u0435\u0441\u0438\u043c\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0441 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0432 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0435, \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u044c \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0441\u0445\u043e\u0436\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u043a\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438, \u0432\u0435\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0441\u0442\u0440\u043e\u044f\u0442 \u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043b\u0435\u0441\u043a\u043e\u043f\u044b-\u0440\u0435\u0444\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b). \u041f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0438 \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u043c \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u0435 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0451\u0442 \u043d\u0435\u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0436\u0451\u0441\u0442\u043a\u0438\u0445 EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442 40%, \u0442\u0430\u043a \u0447\u0442\u043e \u0447\u0435\u043c \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0432 \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 — \u0442\u0435\u043c \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435. \u042f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u044b \u0443\u0432\u0435\u0440\u044f\u044e\u0442, \u0431\u0443\u0434\u0442\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0438\u043c\u0438 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u0442 \u043e\u0431\u043e\u0439\u0442\u0438\u0441\u044c \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c EUV-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u043a\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0447\u0435\u043c \u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043d\u044b\u043d\u0435 LPP (\u0433\u0434\u0435, \u043d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, CO2-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440 \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u043e\u043b\u043e\u0432\u044f\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0430\u043f\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d), \u043f\u043e \u0441\u0435\u0431\u0435\u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u043a\u0430\u0436\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u044b\u0438\u0433\u0440\u044b\u0448\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435, \u0430 \u0437\u0430\u043e\u0434\u043d\u043e \u0441\u043d\u0438\u043c\u0435\u0442 \u0446\u0435\u043b\u044b\u0439 \u0440\u044f\u0434 \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u0432\u0440\u043e\u0434\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0449\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0443 \u043f\u043b\u0435\u0432\u044b \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u043e\u0441\u0435\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0442\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u043e\u043b\u043e\u0432\u0430 (\u0434\u0430, \u043d\u0435 \u0432\u0441\u0435 \u043e\u043d\u0438 \u0432\u044b\u0434\u0443\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c) \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043f\u0443\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0434\u0435\u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043a\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0451\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442 \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u0438\u0442 \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043a\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439, \u0443 \u043d\u0435\u0451 \u043b\u0438\u0448\u044c \u0434\u0432\u0430 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0430: \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0435 \u043e\u043d\u0430 \u043d\u0435 \u0432\u043e\u043f\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0430 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0432 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438 (\u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0432\u043e\u0438\u0445 \u0438\u0434\u0435\u0439 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0432\u043e\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c\u044e) \u0438 \u043e\u0442\u043a\u0443\u0434\u0430 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u0437\u044f\u0442\u044c 20-\u0412\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a 13,5-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u044b \u043d\u0435 \u043f\u043e\u044f\u0441\u043d\u044f\u043b\u0438. \u0412\u043f\u0440\u043e\u0447\u0435\u043c, \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0439 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441 \u0443\u0436\u0435 \u0432 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u0438 \u0441\u043c\u0443\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0445 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u0433: \u0442\u0435 \u0432\u043e\u0432\u0441\u044e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0438 EUV-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430, \u0432 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0442\u0435 \u0441 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u043c\u0438 \u0441\u0442\u043e\u043b\u044c \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u0430\u044f (\u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043d\u0435\u0443\u0434\u0430\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0430\u043b\u0430\u043c\u0431\u0443\u0440, \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u043d\u044b) \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0439 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u043a\u043e\u0439.<\/p>\n

\u0412 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 2025-\u0433\u043e \u043a\u043e\u043c\u0430\u043d\u0434\u0430 \u0438\u0437 \u0425\u0430\u0440\u0431\u0438\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u0442\u0435\u0442\u0430 \u043f\u043e\u0434 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0444\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u0430 \u0427\u0436\u0430\u043e \u042e\u043d\u043f\u044d\u043d\u0430 (Zhao Yongpeng) \u043e\u0442\u0447\u0438\u0442\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e EUV-\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 LDP — laser-induced discharge plasma, \u0438\u043d\u0434\u0443\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b. \u0417\u0434\u0435\u0441\u044c \u043d\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u043e\u043d\u044f\u0442\u044c \u043e\u043b\u043e\u0432\u044f\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043a\u0430\u043f\u043b\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u043f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f: \u0441\u0445\u043e\u0436\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u043c\u044b\u043c \u0432 LPP-\u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0435 CO2-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440 \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 LDP \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u044b \u0438 \u0438\u043e\u043d\u044b \u043e\u043b\u043e\u0432\u0430, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434\u0430 — \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0434\u0432\u0443\u043c\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438. \u041f\u0440\u043e\u0444\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440 \u042e\u043d\u043f\u044d\u043d \u0443\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 13,5 \u043d\u043c \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u0443\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043e — \u0438 \u0447\u0442\u043e \u0441 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b LDP-\u0431\u043b\u043e\u043a \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 EUV-\u043f\u0443\u0447\u043a\u0430 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043a\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0435\u0433\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0430 \u0434\u0435-\u0444\u0430\u043a\u0442\u043e, LPP: \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u0432 \u0446\u0435\u043b\u043e\u043c \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435 \u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u0435\u0435, \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0435\u0451 \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0438 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0451\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442\u044b \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0451 \u0432 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0449\u0430\u0434\u044f\u0449\u0438\u043c\u0438. \u041a\u043e\u0441\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u0434\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u043e\u043c\u0443, \u0447\u0442\u043e \u0445\u0430\u0440\u0431\u0438\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 — \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043e\u0431\u0435\u0449\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f, \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u044f\u0432\u0438\u0432\u0448\u0438\u0435\u0441\u044f \u0432\u0435\u0441\u043d\u043e\u0439 2025 \u0433. \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0449\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043d\u0430\u0447\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u0439 \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0443\u043c\u0443 (\u0435\u0441\u043b\u0438 \u043d\u0435 \u0432\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e) EUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u0443\u0436\u0435 \u0432 III \u043a\u0432\u0430\u0440\u0442\u0430\u043b\u0435 \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430; \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u0436\u0435 \u043d\u0430 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u0443\u044e \u0438\u0445 \u0441\u0431\u043e\u0440\u043a\u0443 \u0441 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u043e\u0439 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c — \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0443\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c, \u044f\u0441\u043d\u043e\u0435 \u0434\u0435\u043b\u043e, \u0432\u0435\u0434\u0443\u0449\u0435\u043c\u0443 \u0432 \u041a\u041d\u0420 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u0443 SMIC — \u043d\u0430\u043c\u0435\u0447\u0435\u043d \u043d\u0430 2026-\u0439.<\/p>\n

\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0443\u0431\u0438\u0442\u044c<\/p>\n

\u041a\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438, \u0443 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 EUV-\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0435\u0441\u0442\u044c \u0435\u0449\u0451 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043b\u044e\u0441 \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043a\u0441\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e, \u043a\u0430\u043a \u044d\u0442\u043e \u043d\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u043d\u043e, \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u0427\u0435\u043c \u0432\u044b\u0448\u0435 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430, \u0447\u0442\u043e \u0434\u043e\u0431\u0438\u0440\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0438\u0442\u043e\u0433\u0435 \u0434\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0435, \u0442\u0435\u043c (\u0441 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0451\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u043a\u0430\u043c\u0438) \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u0438\/\u0438\u043b\u0438 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0443\u0434\u0430\u0451\u0442\u0441\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c, \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435 \u0437\u0430 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432. \u041f\u043e \u044d\u0442\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0435 \u0432 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0445 ASML — \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e \u043e\u0442\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043c\u0438 LPP-\u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0434\u043e 1 \u043a\u0412\u0442 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0447\u0442\u043e \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u0442\u044c — \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u044f\u044f \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0447\u0438\u0445 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b — \u0434\u043e\u0439\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0434\u043e «1,5-\u043d\u043c» \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430, \u0430 \u0442\u043e \u0438 \u0447\u0443\u0442\u044c \u0433\u043b\u0443\u0431\u0436\u0435. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0436\u0435 \u043f\u043e\u043c\u0435\u043d\u044f\u0442\u044c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u0451\u043c\u043a\u0438\u0439 — \u0432 LDP-\u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u0435, \u0441\u043a\u0430\u0436\u0435\u043c, — \u0442\u043e \u0437\u0430\u043f\u0430\u0441 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043e\u043a\u0430\u0436\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430\u0432\u0435\u0434\u043e\u043c\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435; \u0430, \u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0435\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u0434\u0430 \u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0447\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432\u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u0443\u044e \u0438 \u043a «1-\u043d\u043c» \u0440\u0443\u0431\u0435\u0436\u0443. \u041c\u0430\u043b\u043e \u0442\u043e\u0433\u043e: \u0432 \u041a\u041d\u0420 \u0443\u0436\u0435 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0438\u0434\u0451\u0442 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 — \u043f\u043e \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0440\u0435, \u0442\u0435\u043e\u0440\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f — \u043f\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044e \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e EUV-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432. \u0420\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u044d\u0442\u0438\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432 \u0428\u0430\u043d\u0445\u0430\u0439\u0441\u043a\u043e\u043c \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u043a\u0438, \u0447\u0442\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u043d\u043e, \u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0432\u0448\u0438\u0439\u0441\u044f \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0432 ASML \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442 \u043f\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0438 \u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u041b\u0438\u043d\u044c \u041d\u0430\u043d\u044c (Lin Nan), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0432\u0435\u0440\u043d\u0443\u043b\u0441\u044f \u0432 \u041a\u041d\u0420 \u0435\u0449\u0451 \u0432 2021 \u0433., — \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0447\u0438\u043c, \u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u043a \u0410\u043d\u043d \u041b’\u042e\u0438\u043b\u044c\u0435 (Anne L’Huillier), \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0432\u0448\u0435\u0439 \u0432 2023 \u0433. \u0441 \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u0433\u0430\u043c\u0438 \u041d\u043e\u0431\u0435\u043b\u0435\u0432\u0441\u043a\u0443\u044e \u043f\u0440\u0435\u043c\u0438\u044e \u043f\u043e \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0435 \u0437\u0430 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0430\u0442\u0442\u043e\u0441\u0435\u043a\u0443\u043d\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043e\u0432 \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0432 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435. \u0421\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043c\u0430\u043b\u043e\u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0433\u043e (\u0434\u043e 10 \u0412\u0442) \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e 13,5-\u043d\u043c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430 \u0441 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e \u043e\u043a\u0438\u043d\u0430\u0432\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0443 \u0441\u0445\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0438 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0443 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0442\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c «\u0434\u0435\u0448\u0451\u0432\u044b\u043c \u0438 \u0441\u0435\u0440\u0434\u0438\u0442\u044b\u043c» \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u043e\u043c \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 EUV-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f — \u043f\u043e\u043a\u0430 \u0431\u0435\u0437\u043e \u0432\u0441\u044f\u043a\u043e\u0433\u043e High-NA — \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u0442 \u041a\u041d\u0420 \u0440\u0435\u0437\u043a\u0438\u043c \u0441\u043a\u0430\u0447\u043a\u043e\u043c \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u043e\u0442\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u0421\u0428\u0410 \u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0438\u0445 \u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u044b \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438 \u0434\u043e \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e, \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0443\u043c \u0434\u0432\u0443\u0445 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432. <\/p>\n

⇡#\u0411\u0435\u0437 \u0435\u0434\u0438\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u0432\u043e\u0437\u0434\u044f<\/h2>\n

\u041d\u0430 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0436\u0435 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440 \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043b\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0443 \u0438 \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u0417\u0435\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u0440\u0430\u0434\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 (\u0417\u041d\u0422\u0426), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0432 \u0441\u043e\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0441 \u0431\u0435\u043b\u043e\u0440\u0443\u0441\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u0433\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437 \u041e\u0410\u041e «\u041f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440» \u0437\u0430\u0432\u0435\u0440\u0448\u0438\u043b\u0438 \u043e\u043f\u044b\u0442\u043d\u043e-\u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u043e\u0440\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043f\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044e \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 (\u043e\u043d \u0436\u0435 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440, \u043e\u043d \u0436\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440, \u0430 \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u0439 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0444\u0438\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0442\u043e «\u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f») \u0441 \u0444\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c (\u043c\u0430\u0440\u043a\u0435\u0442\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u044b\u0435, \u0432 \u043a\u0430\u0432\u044b\u0447\u043a\u0430\u0445, \u043d\u0430\u0438\u043c\u0435\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0441 «40 \u043d\u043c») \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c 350 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432. \u041f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 — \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0435 \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0439 3,5 \u0442\u043e\u043d\u043d\u044b \u0438 \u0433\u0430\u0431\u0430\u0440\u0438\u0442\u0430\u043c\u0438 2,0×2,6×2,5 \u043c (\u044d\u0442\u043e \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0443\u0437\u0435\u043b; \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441 \u043c\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e) — \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0438 \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0430\u0437\u0430\u0434, \u0430 \u0432\u0435\u0441\u043d\u043e\u0439 2025-\u0433\u043e \u043e\u043d\u0430 \u0431\u044b\u043b\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043d\u044f\u0442\u0430 \u0413\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u0438\u0441\u0441\u0438\u0435\u0439, \u0442\u043e \u0435\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e \u0441\u0443\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u0437\u043d\u0430\u043d\u0430 \u0433\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043a \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e. \u0421\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u044b \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u044f \u0430\u0434\u0430\u043f\u0442\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0435\u0451 \u043a \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u043c\u044b\u043c \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 (\u0430, \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c, \u0443\u0436\u0435 \u0438 \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0432\u0448\u0438\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u044b, — \u0434\u043e\u0441\u0442\u043e\u0432\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043e\u0431 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043d\u0435\u0442) \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0443 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u0430 \u0442\u0430\u043a \u0438\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0430\u0447\u0435 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f, \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043e\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442 \u043e\u0434\u043d\u0438 \u0438 \u0442\u0435 \u0436\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b, — \u0432\u0437\u044f\u0442\u044c \u0445\u043e\u0442\u044f \u0431\u044b \u043d\u0435 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0433\u043e\u0434 \u0442\u044f\u043d\u0443\u0449\u0443\u044e\u0441\u044f \u044d\u043f\u043e\u043f\u0435\u044e \u0441 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043e\u043c Samsung \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043b\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 «3-\u043d\u043c» \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0441 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0434\u043e \u0441\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0440 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0451\u0442\u0441\u044f \u043d\u0438\u0436\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 TSMC, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0436\u0435<\/em> \u043e\u0441\u0432\u043e\u0438\u043b\u0430 \u044d\u0442\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u043d\u043e\u0440\u043c\u0443 \u043d\u0430 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0436\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043a\u0430\u0445 ASML: \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442 30% \u0443 \u044e\u0436\u043d\u043e\u043a\u043e\u0440\u0435\u0439\u0446\u0435\u0432, 90+% \u0443 \u0442\u0430\u0439\u0432\u0430\u043d\u044c\u0446\u0435\u0432. \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0443\u0436\u0435 \u0432 2026 \u0433. \u0417\u041d\u0422\u0426 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0437\u0430\u0432\u0435\u0440\u0448\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u0430 \u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0441 \u0440\u0430\u0441\u0447\u0451\u0442\u043e\u043c \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u043d\u044b\u0435, 130-\u043d\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u043e\u0440\u043c\u044b.<\/p>\n

\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0443\u0431\u0438\u0442\u044c<\/p>\n

\u041f\u043e\u043d\u044f\u0442\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0438 \u043e \u043a\u0430\u043a\u043e\u043c EUV, High-NA \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0435\u0442, \u0443 \u0438\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u044f \u0417\u041d\u0422\u0426 \u0440\u0435\u0447\u0438 \u043d\u0435 \u0438\u0434\u0451\u0442, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0439 \u043a\u0430\u043b\u044c\u043a\u043e\u0439 \u0430\u0440\u0445\u0430\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 (\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u043e \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0441\u044f \u043a 1995 \u0433.) \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432\u0441\u0451 \u0442\u043e\u0439 \u0436\u0435 ASML — \u0442\u043e \u0431\u0438\u0448\u044c \u0440\u0430\u0431\u0441\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0439\u0434\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e — \u0431\u044b\u043b\u043e \u0431\u044b \u043e\u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0447\u0438\u0432\u043e. \u042d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0442\u044b, \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435 \u0437\u0430\u043f\u0430\u0434\u043d\u044b\u0435, \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0435\u0434\u043b\u0438\u0432\u043e \u043e\u0442\u043c\u0435\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0441\u043a\u0443\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043d\u0435\u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0444\u0438\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043e \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043c \u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u043c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0435, \u0438 \u044d\u0442\u043e \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u043e\u0431\u044a\u044f\u0441\u043d\u0438\u043c\u043e — \u0432 \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u044f\u0445 \u043a\u0442\u043e \u0432\u043b\u0430\u0434\u0435\u0435\u0442 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u043c\u0438, \u0432\u043b\u0430\u0434\u0435\u0435\u0442 \u043c\u0438\u0440\u043e\u043c, \u0430 \u0431\u0435\u0437 \u0441\u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0431\u0430\u0437\u044b \u0441\u0430\u043c\u044b\u0435 \u0438\u0437\u043e\u0449\u0440\u0451\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043b\u0438\u0448\u044c \u044d\u0444\u0435\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e (\u0436\u0438\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440 — \u0441\u0442\u0440\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u0432\u043e\u0442 \u0443\u0436\u0435 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0433\u043e\u0434 \u043e\u0442 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0439 \u0431\u0430\u0437\u044b \u043d\u0430 \u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0447\u0432\u0435 Intel).<\/p>\n

\u041d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0441\u0432\u043e\u0451 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f 350-\u043d\u043c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 ASML \u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u043b\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0440\u0442\u0443\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0423\u0424-\u043b\u0430\u043c\u043f\u044b \u0441 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 365 \u043d\u043c (\u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b \u0441 405 \u0438 436 \u043d\u043c \u0442\u043e\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u043b\u0438\u0441\u044c, \u043d\u043e \u0440\u0435\u0436\u0435) \u0438 200-\u043c\u043c \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b-\u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438, \u0430 \u0441 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u043c \u043d\u0430 130-\u043d\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u043d\u043e\u0440\u043c\u0443 \u0432 \u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u0442 \u0432\u043e\u0448\u043b\u0438 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 (ArF) 193-\u043d\u043c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b — \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u043e\u0434 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 (deep ultraviolet, DUV) \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. 350-\u043d\u043c \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440 \u0417\u041d\u0422\u0426 \u0438 «\u041f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0430» \u0432\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0432 \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0448\u0451\u043b \u043a \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e 200-\u043c\u043c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d (\u0432\u043f\u0440\u043e\u0447\u0435\u043c, \u043e\u043d \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c \u0438 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438\u0441\u044f \u0434\u043e \u0441\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0440\u044b 150-\u043c\u043c), \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043a \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u043f\u043e\u043b\u044e — \u0442\u043e\u043c\u0443 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043a\u0443 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0437\u0430 \u043e\u0434\u0438\u043d \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434 \u0437\u0430\u0441\u0432\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0443 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c: \u0442\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c \u044d\u0442\u043e 22×22 \u043c\u043c (\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435 \u0431\u044b\u043b\u043e \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043e\u043a \u043f\u043e \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 — 3,2×3,2 \u043c\u043c). \u0414\u043b\u044f DUV-\u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u043e\u0432 ASML \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u043c\u0430\u0441\u043a\u0438 — 152×152 \u043c\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0441 \u0443\u0447\u0451\u0442\u043e\u043c 4-5-\u043a\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0433\u0430\u0431\u0430\u0440\u0438\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u0434\u0430\u0451\u0442 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0435 \u0447\u0443\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0447\u0435\u043c 30 × 30 \u043c\u043c, — \u0442\u043e\u0436\u0435 \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u0441\u043e\u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043c\u0430\u044f \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430.<\/p>\n

\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0443\u0431\u0438\u0442\u044c<\/p>\n

\u0412\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u0430\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441: \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440 \u0430\u043f\u0440\u0438\u043e\u0440\u0438 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435 \u0440\u0442\u0443\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0430\u043c\u043f\u044b \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0423\u0424-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f — \u043c\u043e\u0449\u043d\u0435\u0435, \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0435\u0435, \u0441 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0432\u0435\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0443\u0437\u043a\u0438\u043c \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c — \u0438 \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0433\u0440\u044f\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e 130-\u043d\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0430 \u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u044b \u0432\u0437\u044f\u0442\u044c \u0437\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0443 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044e \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0435\u0433\u043e 350-\u043d\u043c (\u043d\u0430\u0434\u043e \u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0442\u044c, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044f \u0432\u0441\u0451 \u0442\u043e\u0442 \u0436\u0435 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440, \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e, \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u043e, \u0441 \u0438\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b, — \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043e\u0431 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043d\u0435\u0442 \u043d\u0438\u043a\u0430\u043a\u043e\u0439: \u0441\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043e \u043b\u0438\u0448\u044c, \u0447\u0442\u043e «\u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c \u0441 \u043d\u0443\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193 \u043d\u043c» — \u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e, \u0441\u0438\u043b\u0430\u043c\u0438 \u0442\u043e\u0433\u043e \u0436\u0435 \u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432 «\u041b\u0410\u0421\u0421\u0410\u0420\u0414», \u0447\u0442\u043e \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u043b \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u0439 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439), \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0436\u0435 \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u044f DUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f (\u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e ASML, \u043d\u043e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0432\u0448\u0438\u0435 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u044b Canon \u0438 Nikon) \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043a\u0441\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 ArF-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b? \u041f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0435 \u043d\u0430 \u0443\u043c \u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f, \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435: \u0437\u0430 \u0442\u0435 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e \u043e\u0442\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0445 \u0441\u0435\u0431\u0435\u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0443\u043f\u0440\u043e\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0443 \u0441 \u043d\u0438\u043c\u0438, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0435\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0439, \u0447\u0443\u0442\u044c \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u043e\u0447\u0435\u0432\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0430\u0440\u0433\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442, \u0437\u0430\u043e\u0434\u043d\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435 \u043f\u043e\u043d\u044f\u0442\u044c, \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u043e\u0444\u0438\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0440\u044b\u0432\u0435 \u0417\u041d\u0422\u0426 \u0438 «\u041f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0430» \u043d\u0435 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442 \u043d\u0438\u043a\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u043c\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0451\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432 \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c 350-\u043d\u043c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0435 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430. \u041f\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0436\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0430\u0440\u0433\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0432 \u0445\u043e\u0434\u0435 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0433\u043e \u0430\u043d\u043e\u043d\u0441\u0430 \u0432\u0435\u0441\u043d\u044b 2025 \u0433. — \u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u0438\u0437 \u0410\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0443\u043a \u041a\u041d\u0420 193-\u043d\u043c \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f\u0430 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u0446\u0435\u043b\u043e\u043c \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0435\u0433\u043e \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435.<\/p>\n

\u042d\u043a\u0441\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u044b \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 193-\u043d\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u0430\u043c\u0438 — \u0441 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043e\u0439 8-9 \u043a\u0413\u0446, — \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u044f \u043f\u0443\u0447\u043e\u043a DUV-\u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e 100-120 \u0412\u0442. \u0423 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0436\u0435 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043a\u043e\u0433\u0435\u0440\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u043c \u0442\u0435\u043b\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0442 \u0438\u0442\u0442\u0440\u0438\u0435\u0432\u043e-\u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0439 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0430\u0442, \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0442\u0442\u0435\u0440\u0431\u0438\u0435\u043c (ytterbium-doped yttrium aluminum garnet, Yb:YAG crystal), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0434\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0435 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a 1030-\u043d\u043c \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043e\u0432. \u041f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u044f \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u044c \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0443\u044e \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0443\u0447\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u0441 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0435\u043c \u043d\u0435\u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u044b\u0445 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 193-\u043d\u043c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u0447 — \u0441 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043e\u0439 6 \u043a\u0413\u0446 \u0438 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 880 \u041c\u0413\u0446, \u0447\u0442\u043e \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0430\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438, — \u043d\u043e \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e 70 \u043c\u0412\u0442.<\/em> \u0420\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u0441 \u044d\u043a\u0441\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u043c \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u043c — \u0442\u0440\u0438 \u0441 \u0433\u0430\u043a\u043e\u043c \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430, \u0438 \u0441 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u043e \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 (\u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0446\u043e\u0432, \u0440\u0435\u0447\u044c \u043e \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f\u0435 — \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439), \u0442\u043e \u0443\u0436 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0451\u043d\u043d\u043e \u0443\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0444\u0440\u043e\u043d\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0438\u0445 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442. \u0418 \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c \u0421\u043e\u044e\u0437\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0443\u0434\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0440\u0435\u0448\u0438\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0443 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0435\u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 DUV-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432 (\u0438\u043b\u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u0423\u0424-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432) \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u044d\u043a\u0441\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c\u0438, \u044d\u0442\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u0437\u044b\u0440\u0435\u043c \u0432 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0432\u0435\u0434\u0443\u0449\u0435\u0439\u0441\u044f \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441 \u0433\u043b\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0433\u0440\u0435 \u0437\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0442\u0435\u0442\u0430 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438 — \u0438 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0437\u0430\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0437\u0430\u0441\u0435\u043a\u0440\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0445\u043e\u0442\u044f \u0431\u044b \u043d\u0430 \u0440\u0430\u043d\u043d\u0438\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430\u0445 \u043e\u0441\u0432\u043e\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438.<\/p>\n

\"\u0420\u0430\u0437\u0440\u0443\u0431\u0438\u0442\u044c<\/p>\n

\u0412 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0441\u0432\u0435\u0442\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0420\u0424 \u0446\u0435\u043b\u0438 \u043e\u0441\u0432\u043e\u0438\u0442\u044c «28-\u043d\u043c» \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e \u043a 2027 \u0433. \u0438 «14-\u043d\u043c» \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u043e\u0440\u043c\u044b \u043a 2030-\u043c\u0443 \u0443\u0436\u0435 \u043d\u0435 \u0432\u044b\u0433\u043b\u044f\u0434\u044f\u0442 \u043e\u0442\u043a\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0436\u0435\u043a\u0442\u0451\u0440\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c: \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0446\u043e\u0432, \u043f\u0443\u0442\u044c \u043e\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 350 \u043d\u043c \u043a 130 \u043d\u043c \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u044f \u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u043b\u0430 \u0437\u0430 \u0448\u0435\u0441\u0442\u044c \u043b\u0435\u0442, \u0441 1995-\u0433\u043e \u043f\u043e 2001-\u0439, \u0438, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0417\u041d\u0422\u0426 \u0441 \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u0433\u0430\u043c\u0438 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044b \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0440\u044b\u0432\u043e\u043a \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0437\u0430 \u0433\u043e\u0434, \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0438 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u0437\u0430\u043d\u044f\u043b \u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0444\u0435\u0440 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u043a «22-\u043d\u043c» \u043d\u043e\u0434\u0435 (\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u043f\u043e \u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u043e\u0432\u0430\u043b\u043e \u0432 2011-\u043c), \u0442\u043e\u0436\u0435 \u0443\u0434\u0430\u0441\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u0435\u0436\u0430\u0442\u044c \u0441\u043e\u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043c\u043e \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435. \u041d\u0435 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u0437\u0430\u0431\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u0432 2001 \u0433., \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 Silicon Valley Group, ASML \u0441\u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0430 \u0432 \u0441\u0432\u043e\u0438\u0445 \u0440\u0443\u043a\u0430\u0445 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e \u0442\u0435\u043c\u0435 EUV \u0438 \u0442\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u0444\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u043b\u0430 \u0438\u0437 \u0433\u043e\u043d\u043a\u0438 \u0437\u0430 \u0433\u0440\u044f\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0432\u0435\u0441\u044c\u043c\u0430 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430 \u0442\u043e\u0442 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, Canon \u0438 Nikon. \u0421 \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u043c \u0433\u043e\u0434\u043e\u043c \u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0430\u044f \u0432\u0441\u0451 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0437\u0440\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0447\u0435\u0440\u0442\u044b \u043c\u043e\u043d\u043e\u043f\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0433\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u043b\u0430 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0435\u043c\u043f\u044b \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0432 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043b\u0435\u043c\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0435\u0431\u044f \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435, \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u044f DUV «\u0432 \u0447\u0430\u0441 \u043f\u043e \u0447\u0430\u0439\u043d\u043e\u0439 \u043b\u043e\u0436\u043a\u0435», — \u0441 \u0442\u0435\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0441\u043d\u0438\u043c\u0430\u0442\u044c \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0443\u043c \u0441\u043b\u0438\u0432\u043e\u043a \u0441 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u0442\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044f \u0437\u0430\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043f\u0440\u0438\u0431\u044b\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435 \u0432\u0441\u0451 \u0442\u043e\u0433\u043e \u0436\u0435 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0433\u043e EUV.<\/p>\n

\u041d\u0435 \u0441\u043a\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0434\u0430 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043f\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 — \u043d\u0430\u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u0442, \u043f\u043e\u0434\u0445\u043b\u0451\u0441\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0432\u043e\u0438\u043c \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0430\u043c \u043f\u043e\u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0441\u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0442\u0435\u0442 \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u043e\u0441\u0442\u0440\u0435\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e \u0441\u043e\u043f\u0435\u0440\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430, — \u0438 \u0440\u043e\u0441\u0441\u0438\u0439\u0441\u043a\u0438\u0435, \u0438 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430\u0432\u0435\u0440\u043d\u044f\u043a\u0430 \u0441\u0443\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0437\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u0442\u044c \u043e\u0442\u0440\u0435\u0437\u0430\u044e\u0449\u0443\u044e \u0438\u0445 \u043d\u044b\u043d\u0435 \u043e\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0435\u043c\u043b\u0438 EUV \u043f\u0440\u043e\u043f\u0430\u0441\u0442\u044c. \u0410 \u0432 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0442, \u043d\u0430\u0434\u043e \u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0442\u044c (\u0435\u0441\u043b\u0438, \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e, \u043a \u0442\u043e\u043c\u0443 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0433\u043b\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u044b\u043d\u0435 \u0418\u0422-\u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0430\u043b\u0438\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e, \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043b\u043e\u0432, \u043d\u0435 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0444\u0440\u0430\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b), \u0438 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u044b \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u0441 \u0442\u043e\u0439 \u0436\u0435 ASML \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0444\u0438\u0446\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0438 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u044f \u043f\u043e \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u043c\u0443 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e High-NA EUV — \u0432 \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043e\u0442\u0441\u0442\u0430\u0442\u044c, \u043d\u043e \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u044c \u0441\u0432\u043e\u0451 \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0435\u0435 \u043b\u0438\u0434\u0435\u0440\u0441\u0442\u0432\u043e. \u0412\u043e\u0442 \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430, \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u043e \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0437 \u043a \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0443 2030-\u0445, \u0438 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0435\u0442 \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u044f\u0441\u043d\u043e, \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043b\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0449\u0438\u043a\u0438 \u0448\u0442\u0443\u0440\u043c\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c «\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u044b\u0439» \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043d\u044b\u043d\u0435 EUV-\u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0442\u043e\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0438\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u0438 \u043c\u043e\u0434\u0435\u0440\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0438\u043b\u0438 \u0436\u0435 \u0432\u044b\u0431\u0435\u0440\u0443\u0442 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u043e\u0447\u0435\u0432\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u043f\u0443\u0442\u044c — \u0432\u0440\u043e\u0434\u0435 \u0443\u0436\u0435 \u0443\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u0432\u0448\u0438\u0445\u0441\u044f \u0431\u0435\u0437\u043c\u0430\u0441\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0430\u0445, \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0438\u043b\u0438 \u0436\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0438\u043c\u043f\u0440\u0438\u043d\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n

\u0422\u0430\u043a \u0438\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0430\u0447\u0435, \u0432\u0441\u0451 \u0442\u0443\u0436\u0435 \u0437\u0430\u0442\u044f\u0433\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439\u0441\u044f \u043d\u044b\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0448\u0435\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u0438 EUV-\u0443\u0437\u0435\u043b \u043e\u043a\u0430\u0436\u0435\u0442\u0441\u044f \u043b\u0438\u0431\u043e \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d, \u043b\u0438\u0431\u043e \u043b\u0438\u0445\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d, — \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043a\u0430\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0435 \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u0438\u0442 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0443\u044e \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c.<\/p>\n

⇡#\u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043f\u043e \u0442\u0435\u043c\u0435<\/h2>\n
    \n
  • TSMC \u0434\u043e \u0441\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0440 \u043d\u0435 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u043b\u0430\u0441\u044c, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043d\u0430\u0447\u043d\u0451\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e High-NA EUV.<\/li>\n
  • Intel Foundry \u0432\u044b\u0439\u0434\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0431\u0435\u0437\u0443\u0431\u044b\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 2027 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 14A.<\/li>\n
  • \u0422\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 0,2 \u043d\u043c \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0432\u043e\u0435\u043d \u043a 2037 \u0433\u043e\u0434\u0443, \u0430 1,4 \u043d\u043c \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u0441\u044f \u0431\u0435\u0437 High-NA EUV — \u0433\u043b\u0430\u0432\u0430 Imec.<\/li>\n
  • ASML \u043f\u0440\u0438\u0437\u043d\u0430\u043b\u0430, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442 \u043d\u0438\u0447\u0435\u0433\u043e, \u043a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432, \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0438 \u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u043c \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u0438.<\/li>\n
  • \u0411\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0435 \u0447\u0438\u043f\u043c\u0435\u0439\u043a\u0435\u0440\u0441\u0442\u0432\u0430: FEL, SSMB, \u043d\u0430\u043d\u043e\u0438\u043c\u043f\u0440\u0438\u043d\u0442 — \u0438\u043b\u0438 \u0432\u0441\u0451-\u0442\u0430\u043a\u0438 LPP EUV?<\/li>\n<\/ul>\n<\/p>\n

    \t \t \t \t\t \t\t \t \t\t \t\t \t

    \t \t \t <\/center> \t \t \t \t \t \t \t\t\t\t \t \t \t \t
    <\/center>
    <\/center> <\/center><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

    \u0424\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f (EUV), \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 (High-NA; \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0439 \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u044b \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c — 0,55 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 … <\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":53491,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[1],"tags":[],"class_list":["post-53490","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-1"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/53490","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=53490"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/53490\/revisions"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/media\/53491"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=53490"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=53490"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/cinemaxone.ru\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=53490"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}