TSMC до сих пор не определилась, когда начнёт использовать литографию High-NA EUV
Как известно, Intel приступила к экспериментам с литографическим оборудованием класса High-NA EUV в своих лабораториях ещё в рамках технологии 18A, но в серийном производстве планирует …