Учёные МФТИ построили литограф для создания 3D-микроструктур с элементами размером 150 нм
В Московском физико-техническом институте разработали литограф, предназначенный для создания трёхмерных микроструктур, элементы которых будут иметь размеры 150 нм при разрешении 350 нм. Устройство позволит создавать …