SK hynix установила первый сканер класса High-NA EUV для выпуска памяти по передовым техпроцессам
Применение литографических EUV-сканеров с высоким значением числовой апертуры (High-NA) активнее всего освещается в контексте выпуска интегральных микросхем в целом, а для сферы производства чипов памяти …